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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 126 将传感器安装在 12" 晶圆支撑上 使用装配支架将两个传感器固定在晶 圆支撑上。 6 图 6.3 - 13 晶圆支撑 - 安装 传感器 重新连接传感器连接。 使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支 撑上。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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将传感器安装在 12" 的装配支架上
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图 6.3 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
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图 6.3 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
将两个传感器 (2) 安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架 (1) 上。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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将传感器安装在 12" 晶圆支撑上
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 6.3 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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将挡块安装在夹具上
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图 6.3 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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