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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 128 安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑） 使用 4 颗螺钉将盖板安装 到晶圆支撑上。 6 图 6.3 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板 1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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将挡块安装在夹具上
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图 6.3 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑）
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 6.3 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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安装行程环
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图 6.3 - 16 晶圆支撑 - 安装行程环
插入行程环 (1)。
将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。
将四个固定盘 (2) 安装就位。
使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。
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