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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍 版本 04/2018 1.1 总览 13 1.1.3 欧盟 (EC) 符合性声明 产品描述如下： 1 生产商： ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG Rupert-Mayer- Str. 44 81379 Munich 1 符合所提供 《欧共体符合性声明》中的法规和标准。 1.1.4 请按规定使用 本产品只可用于产品目录和技术 说明中指…
1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.1 总览 版本 04/2018
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1.1.2 SIPLACE 晶圆系统的序列号
序列号位于 SIPLACE 晶圆系统内侧的晶圆盘升降机上。
1
图 1.1 - 4 带序列号的铭牌的位置
(1) 铭牌
(1)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍
版本 04/2018 1.1 总览
13
1.1.3 欧盟 (EC) 符合性声明
产品描述如下：
1
生产商：
ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG
Rupert-Mayer-Str. 44
81379 Munich 1
符合所提供 《欧共体符合性声明》中的法规和标准。
1.1.4 请按规定使用
本产品只可用于产品目录和技术说明中指定的应用领域 （即元件的贴装），而且只能与 ASM
Assembly Systems GmbH & Co. KG 推荐或允许的第三方器件和元件结合使用 。 不得用于任何不
同的或扩展的用途。
如果产品使用不正确 ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG 将不会为因此出现的损坏承担任
何责任，而且不保证设备部件的正确和正常运行。
“ 按规定使用 ” 还包括遵守 《用户手册》中的所有说明。
要确保产品正常、可靠地运行，必须正确运输、存放、放置和装配设备，并小心地操作和维护本
产品。
产品
SIPLACE 晶圆系统
型号 SWS 1/3 SWS 2/4
部件号： 03076752-xx 03076751-xx
1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.1 总览 版本 04/2018
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1.1.5 不按规定使用
不按规定使用本产品可能危及生命、致残并带来物质损失。 为此，明确禁止用户不按规定使用。
如果产品使用不正确，ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG 将不会为因此出现的损坏承担任
何责任，而且不保证设备部件的正确和正常运行。
SIPLACE CA4 V2 使用不正确的情形包括：
– 在安全装备被停用或移除的情况下操作 SIPLACE 晶圆系统。
– 在 SIPLACE CA4 V2 外部操作 SIPLACE 晶圆系统。
– 拾取了允许规格以外的元件。
– 使用未经认可的晶圆支撑件。
– 使用未经授权的附属装置和附加模块。
– 由无资质人员操作 SIPLACE 晶圆系统。
– 各 SIPLACE 晶圆系统和安装选件的电缆分配不清晰。
– 有人进入 SIPLACE 晶圆系统和保护盖内部。
1.1.6 噪音排放
1
最大噪音排放 75 dB (A)