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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 132

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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
131
6.3.6.4 12" 转换至 8 的差异
应将传感器从晶圆支撑上拆下并安装到 8" 膨胀板上。 请参阅 表晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环，
第 124 页
应将挡块从夹具上拆下并用于取代夹持杆。 请参阅 表晶圆支撑 - 将夹具松开，第 122 页
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
132
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 7 维护
版本 04/2018
133
7维护
另请参阅 SIPLACE 晶圆系统维护手册 （德语版 [00195962-xx]、英语版 [[00195963-xx]）