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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引 版本 04/2018 135 索引 Symbols 《用户手册》 内容与存放 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 重要说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 C CO . . . . . . . . . . . . . . …
7 维护 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
版本 04/2018
134
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引
版本 04/2018
135
索引
Symbols
《用户手册》
内容与存放
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
重要说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
C
CO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
D
DCA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
E
EMC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
EMERGENCY STOP （急停）按钮 . . . . . . 98, 99
ESD
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33, 57
ESD 安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46
ESD 使用说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
F
FC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
G
GND . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
L
LCD 触摸屏 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99
LDU
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
P
PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
S
SC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
SIPLACE 晶圆系统
检查主电源
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
能量状况
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53
性能数据
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59
压缩空气条件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
SIPLACE 晶圆系统的序列号
. . . . . . . . . . . . . . . 12
SIPLACE 晶圆系统的重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . 81
SIPLACE 晶圆系统任务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
. . . . . . . . . . . 38
SMD
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
SWS
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
U
USB 连接 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
X
X 单元 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Z
安全功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
安全开关
元件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
安全须知
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
关于传送导轨
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
安装位置的基础设施
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
班次更换时的任务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
变压器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
不按规定使用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
残余电流保护装置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
残余电压
在主电源开关关闭后
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
操作安全须知
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
操作员和其他人员的安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . 37
操作员级别
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
高级生产
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
生产
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
维修 SIPLACE
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
维修 （客户）
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
充电，静电 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
刺穿型顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
倒装单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22, 64, 66
检查工具
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
检查弃置箱
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
检查吸嘴
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
索引 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
版本 04/2018
136
倒装片处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
调试
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
顶针
配置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
段位器 1
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
段位器 2
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
额定值
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
非刺穿型顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
符合性声明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
工厂和设备的安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
工具支撑件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
供应单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
挂牌程序 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
环境压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
环境要求
环境压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
计算机单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
技术数据
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
夹持单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 70
夹持器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 75, 78
键盘
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99
晶粒贴附处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
晶粒贴附单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20, 22, 106
晶粒推送器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 73
晶圆布局图文件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
晶圆交换器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
晶圆交换系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
晶圆料膜
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68, 74
晶圆盘
插入到升降机中
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
晶圆盘滑入
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
晶圆盘升降机
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 75
晶圆锁定杆 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
晶圆台
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
晶圆相机
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 69
晶圆支撑件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 70, 71
警告标签
W201
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W204
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W206
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
W210
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39, 41
静电充电
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
空气湿度
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
控制部件
总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
控制部件的人体工程学布局
. . . . . . . . . . . . . . . 100
控制部件和显示屏
人体工程学布局
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
位置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
每个单元区域的承重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
培训
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29, 56
培训等级
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
请按规定使用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13, 36
设备重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
设置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
拾取处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
拾取和转送处理细节
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
室内温度
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
释放压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
授权员工。
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
缩略语
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
锁定 SIPLACE 晶圆系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
条形码扫描仪
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78, 107
停用压缩空气供给
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
推拉门，功能
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
推拉门的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
推送处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
推送顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
推送工具
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73, 74
推送系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
配置顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
危险符号，惯例
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
危险符号的使用惯例
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
危险提示
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
温度范围
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
吸嘴交换器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
吸嘴拾起器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
显示屏
总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
显示器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
线性浸渍单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
修订，总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
修订表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
选项
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
用户界面
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
用于位置识别的插销 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
有资质人员
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
噪音排放
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
责任和义务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
真空帽
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
制造商 / 供应商的责任
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
重量和表面负载
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85