00198373-01_UM_SWS-ZH - 第138页
索引 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 版本 04/2018 138
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引
版本 04/2018
137
主电源
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
检查
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
危险提示
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
主电源开关位于 OFF （关）位置
. . . . . . . . . . . .51
主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99, 100
主开关位于 ON （开）位置
. . . . . . . . . . . . . . . .51
注意事项
关于操作安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
装运包装
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
装运包装的尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
资质 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29
索引 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
版本 04/2018
138