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1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1.2 功能说明 版本 04/2018 26 1.2.4.4 倒装片经编码位置 （校准后） 1 1 图 1.2 - 9 倒装片经编码位置 - 校 准后 （基本原则） 0° 原点传感器位置 180° 转送位置，段位器 1 125° 相机 “ 自由 ” 位置，1 号段位 器 96° 触发位置，段位器 1 105° 原点偏移位置 83° 触发位置，段位器 2 58° 相机 “ 自由…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍
版本 04/2018 1.2 功能说明
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1.2.4.3 晶粒贴附 - 转送处理
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图 1.2 - 8 晶粒贴附 - 交接处理 （基本原则）
(1) 晶粒贴附旋转到转送位置。
(2) SIPLACE 贴片头从晶粒贴附段位器拾起芯片，然后旋转到下一个星形位置。
(3) 与此同时，倒装单元转送 X 轴将 1 号段位器 撤回到起始位置。
(4) 倒装片单元 - 1 号段位器 旋转到拾取位置，然后拾起下一个芯片。
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请注意
在使用晶粒贴附单元时，倒装片单元中只有 1 号段位器被激活。
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(2)
(3)
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1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.2 功能说明 版本 04/2018
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1.2.4.4 倒装片经编码位置 （校准后）
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图 1.2 - 9 倒装片经编码位置 - 校准后 （基本原则）
0°
原点传感器位置
180°
转送位置，段位器 1
125°
相机 “ 自由 ” 位置，1 号段位器
96°
触发位置，段位器 1
105°
原点偏移位置
83°
触发位置，段位器 2
58°
相机 “ 自由 ” 位置，2 号段位器
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图 1.2 - 10 倒装旋转轴的初始化 （基本原则）
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。 在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。 之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。 通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器