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1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1.2 功能说明 版本 04/2018 28 1 图 1.2 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段 位器的位置 倒装头的转送位置，拾取和释放位置 ，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。 75° 倒装单元转送位置 105° 晶粒贴附转送位置 230° 吹气单元位置晶粒贴附
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍
版本 04/2018 1.2 功能说明
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图 1.2 - 10 倒装旋转轴的初始化 （基本原则）
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。 在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。 之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。 通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器
1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.2 功能说明 版本 04/2018
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图 1.2 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置
倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。
75°
倒装单元转送位置
105°
晶粒贴附转送位置
230°
吹气单元位置晶粒贴附
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍
版本 04/2018 1.3 人员资质和培训
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1.3 人员资质和培训
执行操作、预防性维护、检查和安装的人员必须具备相关的工作资质。 用户必须严格控制这些人
员的职责、任务分配和监督。 任何未接受过相关培训的员工都必须参加培训和接受相关的指导。
这些指导必须由接受过培训且已获得授权的人员提供。
1
请注意
系统仅可由具备资质的工作人员进行操作
只有具备相关资质的工作人员才可以执行开机、运行或者完成对机器的作业。
此资质必须通过培训课程或者为工作人员提供的授课指导的形式获得认证。