00198373-01_UM_SWS-ZH - 第38页
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018 38 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 其设计符合 ISO 3864-2 和 ANSI Z535.4 标准的 相关要求。 2 2 2.2.1 警告标签总览 2 图 2.2 - 1 SWS 上的警告标签 - 前视图 W201，部件号： 03009338-01 W204，部件号： 03009343…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.1 安全须知
37
2.1.3.2 操作员和其他人员的安全
SIPLACE 晶圆系统操作员只能执行自己已经过充分培训并完全熟悉的工作内容。
如不完全了 SIPLACE 晶圆系统的使用和功能，切勿打开保护盖！ 除非在本手册或软件对话
框中有明确指示，否则在操作进行过程中不要打开保护盖。
只能在 SIPLACE 晶圆系统已安装到 SIPLACE CA4 V2 中且已做好运行准备时操作此系统。
为了您的自身安全，请穿戴符合行业协会的指导方针或所在国家 / 地区条例的工作服，即安全
鞋、发套或窄袖衣物等。
工作岗位中不要佩戴围巾、链子或领带；这样做可以降低风险。
长发工作人员必须佩戴安全帽。
2
2.1.3.3 工厂和设备的安全
除非完全清楚对系统进行的改动会对系统总体功能带来的影响，否则切勿进行哪怕是最小的
改动。
SIPLACE 晶圆系统必须始终由接受过必要培训的人员来设置、改组和维护。
不要改动安全设备。 特别是，切勿禁用断路器或拆除安全器件。
警告
危险电压等级！
SIPLACE 晶圆系统运行时带电。 关闭主电源开关，且已断开主电源插头的连接时，某些
部件仍然带电。 关闭主开关，断开主电源插头并等待 5 分钟。
如果不遵守这些规定，会有造成人员伤亡和 / 或发生设备重大损失的危险。
在任何带电元件上作业前，应关闭主开关，切断 SIPLACE 晶圆系统电源。
请按照第 55 页第 2.8 节中的说明锁住 SIPLACE 晶圆系统。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
38
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
其设计符合 ISO 3864-2 和 ANSI Z535.4 标准的相关要求。 2
2
2.2.1 警告标签总览
2
图 2.2 - 1 SWS 上的警告标签 - 前视图
W201，部件号： 03009338-01
W204，部件号： 03009343-01
警告
损坏警告标签！
研磨性清洁剂或溶剂能够损坏或毁坏警告标签。
不要使用研磨性清洁剂或溶剂清洗警告标签。
更换所有已损坏或难以辨认的警告标签。
W 201
W 204
W 204
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
39
2
图 2.2 - 2 SWS 上的警告标签 - 后视图
W201，部件号： 03009338-01
W204，部件号： 03009343-01
W206，部件号： 03009345-01
W210，部件号： 03009350-01
W 210
W 201
W 206
W 204