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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全 版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 41 2.2.2.4 警告标签 W210 2 W210， 第 39 页的图 2.2 - 2 ，部件号 03009350-0 1 （每个 SWS 上的数量： 1） 2 W209， 第 39 页的图 2.2 - 2 ，部件号 03009349-0 1 （每个 SWS 上的数量：1 2 2 2 2 2 2 EM…

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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
40
2.2.2 警告标签
2.2.2.1 警告标签 W201
2
W201， 第 38 页的图 2.2 - 1，以及 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009338-01 （每个 SWS 上的
数量： 2）
2.2.2.2 警告标签 W204
2
W204， 第 38 页的图 2.2 - 1，以及 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009343-01 （每个 SWS 上的
数量： 8）
2.2.2.3 警告标签 W206
2
W206， 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009345-01 （每个 SWS 上的数量： 1）
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设备的安全操作
设备的安全操作完全取决于操作员是否熟悉 《用户手册》和安全
须知，以及是否将它们付诸实践。
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有夹伤危险！
将手伸入此位置将导致手臂或手部受伤。
设备运行时请不要将肢体伸入其内部！
危险电压！
关闭主电源开关，且已断开主电源插头的连接时，贴有标签的部
件仍带电。
维修前请断开设备的主电源。
NAFTA （北美自由贸易协定）地区： 有电击或燃烧的危险！
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
41
2.2.2.4 警告标签 W210
2
W210， 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009350-01 （每个 SWS 上的数量： 1）
2
W209， 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009349-01 （每个 SWS 上的数量：1
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EMERGENCY STOP （急停）按钮上的警告标签
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在澳大利亚、加拿大、墨西哥和美国，警告标
签 W209 粘贴在 EMERGENCY STOP （急
停）按钮上，而非黄色环上。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
42
2.2.3 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器上的警告标签
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图 2.2 - 3 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
谨慎
高温导致烫伤的危险！
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
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