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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.6 安全功能 版本 04/2018 50 功能 如果 SWS 推拉门向上打开，SWS 升降机和夹持器的电源供应将被 切断。 屏幕上会显示一则消 息，通知您推拉门已打开。 2.6.2 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关 2 图 2.6 - 2 SWS 上 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关的位置 (1) EMERGENCY S TOP （…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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2.6 安全功能
2.6.1 推拉门
SIPLACE 晶圆系统内部由推拉门盖好。 推拉门和保护盖作为保护装置，可以防止未经授权的人员
接触到 SIPLACE 晶圆系统内部。
2
2
图 2.6 - 1 推拉门和保护盖
(1) SWS 晶圆盘升降机
(2) SWS 推拉门
(3) 用于打开 SWS 的握槽
(4) 带安全开关的门
SWS 晶圆盘升降机由推拉门 （部件 1）盖好。
谨慎
损坏的危险！
用力过大可能会损坏推拉门和保护盖。
请勿进入 SIPLACE 晶圆系统内或攀爬到系统上。
(2)
(3)
(4)
(1)
(4)
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.6 安全功能 版本 04/2018
50
功能
如果 SWS 推拉门向上打开，SWS 升降机和夹持器的电源供应将被切断。 屏幕上会显示一则消
息，通知您推拉门已打开。
2.6.2 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关
2
图 2.6 - 2 SWS 上 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关的位置
(1) EMERGENCY STOP （急停）按钮
(2) 主开关
(1)
(2)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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EMERGENCY STOP （急停）按钮，强制锁定
Emergency stop （急停）按钮为红色，按下时将锁定在 ON （开）位置上。 按 EMERGENCY
STOP （急停）按钮会触发安全开关 （另请参阅第 51
页的第 2.6.3 节）。
操作状态指示灯 （白色）将被关闭。
主电源开关位于 OFF （关）位置
2
主开关位于 ON （开）位置
在使用主开关进行启动之后，SIPLACE 晶圆系统计算机将开机。
定位开关，SWS 推拉门
此定位开关检查 SWS 推拉门是处于打开还是关闭状态。 当 SWS 推拉门打开时，SWS 推拉门上
的定位开关会触发安全开关 （锁定）。 个别元件已禁用或保持启用状态
2.6.3 安全开关
SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 安全开关被 SIPLACE CA4 V2 锁定，因此 SIPLACE 晶圆系统仅在
SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (CSB) 已启用时激活。
按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮后，SIPLACE 晶圆系统上的 EMERGENCY STOP （急
停）会影响 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (CSB)，方式是触发 SIPLACE CA4 V2 的急停功能，同
时通过其自己的安全开关触发 SIPLACE 晶圆系统的急停功能。
2.6.3.1 前提条件
如要通过 SIPLACE CA4 V2 启动和操作 SWS，必须满足下列条件：
– 所有元件料车必须已入位。
– SIPLACE 晶圆系统模块必须已安装且已连接 （接口连接器 X1*3）。
– 已安装的 SIPLACE 晶圆系统模块的推拉门必须已关闭。
– SIPLACE CA4 V2 上的所有保护盖都必须已关闭。
– SIPLACE CA4 V2 上的所有侧推拉门都必须已关闭。
– SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统上的两个急停按钮 （每个 SWS 一个急停按钮）都
必须已释放。
– 必须达到最小工作压力。
危险
致命电压！
对 SIPLACE 晶圆系统处理不当可能导致设备严重损坏、人员重伤甚至死亡。
即便已经在主电源开关处关闭 SIPLACE 晶圆系统，系统中的一些部件仍带有可以致命的
电压：
切要遵循相关的事故预防和 DIN 规范 （特别是 DIN EN 60204 标准的第 1 部分，或
IEC 60204 标准中第 1 部分）以及您所在国家或地区中适用的安全规范。
电源的安全门只能由具有必要资质和接受过相关培训的人员打开。