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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全 版本 04/2018 2.6 安全功能 53  打开 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的推拉门。 2.6.4 主电源开关闭后 SWS 的能量状态 2 2 2.6.5 主电源开关关闭后 SWS 中压缩空气的情况 主开关关闭或电源出现故障时， 压缩空气单元的电控主阀门就会关 闭。 压力在 5 秒内将降 到 0 MPa （0 bar） 。 谨慎  请注意每个 SIP…

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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.6 安全功能 版本 04/2018
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– 必须启用软件释放 （“Control ON”[ 控制装置打开 ]）。
如果现在按下一个 Start （启动）按钮，安全开关 (CBS) 将接通电源电压。 SWS 和 SIPLACE
CA4 V2 将准备就绪，可以运行。
2.6.3.2 安全开关元件
以下组件由安全开关监控：
– SIPLACE CA4 V2 上四个保护盖的定位开关
– SIPLACE CA4 V2 上四个侧推拉门的定位开关
– SIPLACE 晶圆系统 （SWS）上推拉门的定位开关
– SIPLACE CA4 V2 上的两个 EMERGENCY STOP （急停）按钮
– SIPLACE 晶圆系统 （SWS）上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮
– SIPLACE CA4 V2 上 COT 插入件上的定位开关
2.6.3.3 启用急停
如果发生问题，可按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮停止 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)。
急停的激活方式有：
– 按下 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮。
– 按下 SIPLACE CA4 V2 上的 EMERGENCY STOP （急停）按钮
这些情况下，将触发 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统的安全开关，并将于 100 毫秒或
500 毫秒内切断电源接触器 （“ 停止 ” 类别 1，受控停机且在静止状态下中断能源供应）。
2.6.3.4 重设一个急停
要重设一个急停，请确保已解锁 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 的
EMERGENCY STOP （急停）按钮。
找出触发 EMERGENCY STOP （急停）按钮的原因。
清除原因。
解锁 SIPLACE CA4 V2 和 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 的相关 EMERGENCY STOP （急停）
按钮。
2.6.3.5 重置锁定
关闭 SIPLACE CA4 V2 上所有打开的保护盖 / 推拉门。
关闭 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上打开的推拉门。
2.6.3.6 触发锁定
打开 SIPLACE CA4 V2 上的保护盖 / 推拉门。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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打开 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的推拉门。
2.6.4 主电源开关闭后 SWS 的能量状态
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2.6.5 主电源开关关闭后 SWS 中压缩空气的情况
主开关关闭或电源出现故障时，压缩空气单元的电控主阀门就会关闭。 压力在 5 秒内将降到 0
MPa （0 bar）。
谨慎
请注意每个 SIPLACE 晶圆系统都有其自己的主开关。
危险
电源单元中的致命电压！
即使电源单元已关闭，它的一些部件 （例如电源滤波器）仍带有可能致命的电压。
只有 ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG 的维修工程师，或服务于贴片机所有
者并受过 ASM 培训的维修工程师才能在电源及安全开关 (CBS) 上作业。
谨慎
数据丢失！
为避免数据丢失，请仅在满足以下条件后关闭 SIPLACE 晶圆系统 （除非是紧急情况）：
– SIPLACE 晶圆系统已完成数据传输。
– SIPLACE 晶圆系统已完成处理。
– SIPLACE 晶圆系统已完成停机阶段。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.7 停用压缩空气供给并释放压力 版本 04/2018
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2.7 停用压缩空气供给并释放压力
压缩空气单元位于 SWS 的背面 （见第 54 页图 2.7 - 1）。 SWS 压缩空气的工作压力被设定为
0.50 ± 0.025 MPa （5.0 ± 0.25 bar）。
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图 2.7 - 1 SWS 上的电气和气动连接 （以 SWS 2/4 为例）
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警告
受伤的危险！
因处于加压状态的压缩空气线路导致人身伤害的危险。 至 SWS 的压缩空气由 SIPLACE
CA4 V2 供应。
在 SIPLACE CA4 V2 处切断压缩空气供给。
切勿在压缩空气线路依然处于加压状态时断开压缩空气线路。
(1) 设置倒装头段位器或晶粒贴附段位器的鼓
风
(2) 电压供应
(3) 连接 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (4) CAN 总线 （仅用于 SW 605.x）
(5) 连接自 SIPLACE CA4 V2 的压缩空气软管
开孔
(6) LAN1 - 与外部映射服务器通信
(7) LAN2 - 与 SIPLACE CA4 V2 及其他 SWS
通信
(1)
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(5)