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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.7 停用压缩空气供给并释放压力 版本 04/2018 54 2.7 停用压缩空气供给并释放压力 压缩空气单元位于 SWS 的背 面 （见第 54 页图 2.7 - 1 ） 。 SWS 压缩空气的工作压力被设定为 0.50 ± 0.025 MPa （5.0 ± 0.25 bar） 。 2 2 图 2.7 - 1 SWS 上的电气和气动连接 （以 SWS 2/4 为例） …
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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打开 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 上的推拉门。
2.6.4 主电源开关闭后 SWS 的能量状态
2
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2.6.5 主电源开关关闭后 SWS 中压缩空气的情况
主开关关闭或电源出现故障时，压缩空气单元的电控主阀门就会关闭。 压力在 5 秒内将降到 0
MPa （0 bar）。
谨慎
请注意每个 SIPLACE 晶圆系统都有其自己的主开关。
危险
电源单元中的致命电压！
即使电源单元已关闭，它的一些部件 （例如电源滤波器）仍带有可能致命的电压。
只有 ASM Assembly Systems GmbH&Co.KG 的维修工程师，或服务于贴片机所有
者并受过 ASM 培训的维修工程师才能在电源及安全开关 (CBS) 上作业。
谨慎
数据丢失！
为避免数据丢失，请仅在满足以下条件后关闭 SIPLACE 晶圆系统 （除非是紧急情况）：
– SIPLACE 晶圆系统已完成数据传输。
– SIPLACE 晶圆系统已完成处理。
– SIPLACE 晶圆系统已完成停机阶段。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.7 停用压缩空气供给并释放压力 版本 04/2018
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2.7 停用压缩空气供给并释放压力
压缩空气单元位于 SWS 的背面 （见第 54 页图 2.7 - 1）。 SWS 压缩空气的工作压力被设定为
0.50 ± 0.025 MPa （5.0 ± 0.25 bar）。
2
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图 2.7 - 1 SWS 上的电气和气动连接 （以 SWS 2/4 为例）
2
警告
受伤的危险！
因处于加压状态的压缩空气线路导致人身伤害的危险。 至 SWS 的压缩空气由 SIPLACE
CA4 V2 供应。
在 SIPLACE CA4 V2 处切断压缩空气供给。
切勿在压缩空气线路依然处于加压状态时断开压缩空气线路。
(1) 设置倒装头段位器或晶粒贴附段位器的鼓
风
(2) 电压供应
(3) 连接 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (4) CAN 总线 （仅用于 SW 605.x）
(5) 连接自 SIPLACE CA4 V2 的压缩空气软管
开孔
(6) LAN1 - 与外部映射服务器通信
(7) LAN2 - 与 SIPLACE CA4 V2 及其他 SWS
通信
(1)
(2)
(3)
(4)
(6)
(7)
(5)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签
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2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签
2.8.1 目的及范围
在 SIPLACE 晶圆系统上进行任何预防性维护或维修工作之前，必须执行上锁和挂牌程序。 正确
执行该程序可以彻底消除员工受伤害的可能性。
2
2.8.2 说明
无论何时，如果需要隔离、控制和释放 SIPLACE 晶圆系统的能量，必须按下面的流程执行操作：
通知受影响的员工。
关闭 SIPLACE 晶圆系统及任何辅助设备。 通过正常的停止程序关闭设备：
– 关闭 SIPLACE 晶圆系统。
– 在主开关处关闭 SIPLACE 晶圆系统。
切断 SIPLACE 晶圆系统的所有能源供应：
– 在 SIPLACE CA4 V2 处切断压缩空气供给，从而中断 SIPLACE 晶圆系统的压缩空气供
给。
– 切断 SIPLACE 晶圆系统的电源。
给贴片机上锁。
– 只要有可能，都要上锁 （例如给主开关上锁）。
或者： 挂牌程序
如果设备能够上锁，则必须将其锁住。 但在某些情况下能量隔离器件无法被上锁。 在这种情
况下，必须对能量隔离器件进行挂牌，以提醒员工该设备已断电进行维修。 牌子必须系牢，
放置在所有人员均可见的位置，并且只能由挂牌的人员取下。 2
释放存储的能量
压缩空气供给装置中存储的能量或电解电容器中的电能必须用适当的方法释放掉。 2
在关闭 SIPLACE 晶圆系统后，请等待规定的放电或泄压时间，然后方可再次安全地操
作 SIPLACE 晶圆系统。
确认上锁。
测试 SIPLACE 晶圆系统锁。
SIPLACE 晶圆系统恢复工作时必须执行下列步骤。
请注意
最低要求
此程序代表了预防性维护或维修作业的最低上锁 / 挂牌要求。 对于为保证操作安全而需
额外配备的安全设备，可由设备的监管人员、安全主管、安全委员会和保健部门指定。