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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件 版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值 61 3.2.4 压缩空气规格 3 3.2.5 尺寸和重量 3 压缩空气供给 压缩空间压力值 p 最小 p 最大 0.5 MPa = 5.0 bar 1.0 MPa = 10 bar 操作气压 0.48 MPa ± 0.025 MPa (4.8 bar ± 0.25 bar) 压缩空气连接 至 SIPLACE CA4 …
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.2 环境条件和连接值 版本 04/2018
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3.2 环境条件和连接值
3.2.1 包装、运输和储存的环境要求
3
3.2.2 操作环境条件
3
3.2.3 电气额定值和能耗
3
3
温度范围 -25°C 至 55°C
空气湿度 最高到 95%
环境压力 最高 1.700 m （无需均压处理）
室内温度 15°C 至 35°C
空气湿度 30% - 75%
（但是平均不能高于 45%，以防止贴片机上出现凝结）
环境压力 > 750 mbar （相当于高于平均海平面 2500 m）
请注意
使用残余电流保护装置
系统的低对地接触电流装置使客户端的上游 残余电流保护装置可以工作。 该装置必
须为全电敏性设备 （RCD 类型 B）。
电气额定值
电源电压 保险丝
主电源 3 x 380 V~ 至 3 x 415 V~ ± 10 % ； 50/60 Hz
3 x 200 V~ 至 3 x 230 V~ ± 10 % ； 50/60 Hz
*a
3 x 16A 特性 C
3 x 16A 特性 C
*b
主电源连接 含 CEKON 连接器的 4 x 2.5 mm² 线缆 （3 x 380 V~ 至 3 x 415 V~）
4 x 2.5 mm² 线缆 （3 x 200 V~ 至 3 x 230 V）
能量消耗
带加热器 不带加热器
标准视在功率 2.8 kVA 0.8 kVA
额定有效功率 2.6 kW 0.6 kW
*)a 含可选包
*)b 例如 西门子断路器，符合 IEC 和 UL 489 （订货号： 5SJ4 316-7HG42)
或
伊顿工业用断路器 FAZ-C16/3-NA 16A 3p (UL 489, CSA C22.2 no. 5, IEC 60947-2)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值
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3.2.4 压缩空气规格
3
3.2.5 尺寸和重量
3
压缩空气供给
压缩空间压力值
p
最小
p
最大
0.5 MPa = 5.0 bar
1.0 MPa = 10 bar
操作气压 0.48 MPa ± 0.025 MPa (4.8 bar ± 0.25 bar)
压缩空气连接 至 SIPLACE CA4 V2 的塑料软管 PUN 6
压缩空气规格
颗粒大小 0.1 µm
颗粒密度 0.1 mg/m³
最大含油量 （1 级） 颗粒密度 0.01 mg/m³
压力露点 （4 级） 露点 +3°
长度 1650 mm
宽度 650 mm
SWS 的高度
推拉门打开
1479 mm
1940 mm （930 mm PCB 传送导轨高度时）（默认）
1910 mm （900 mm PCB 传送导轨高度时）（选件）
1960 mm （950 mm PCB 传送导轨高度时）(SMEMA)
重量
不带晶圆盘 350 kg
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.2 环境条件和连接值 版本 04/2018
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3.2.5.1 尺寸总览
3
图 3.2 - 1 测量值总览 - SIPLACE 晶圆系统
(1) 1650 mm
(2) 650 mm
(3) 1479 mm
(4) 510 mm