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3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.3 模块总览 版本 04/2018 64 3.3 模块总览 3 图 3.3 - 1 SWS 总览 3 (1) 夹持器 (2) 倒装单元 (3) 可选件 （晶粒贴附单元或 LDU X）的安装 位置 (4) 晶粒推送器 (5) 供应单元 (6) X 单元 (7) 晶圆盘升降机 1 2 3 4 5 6 7
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值
63
3.2.6 SWS 的重心
3
图 3.2 - 2 SWS 的重心
3
重心坐标：
SWS X 坐标
Y 坐标
0 mm
650 mm
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3.3 模块总览 版本 04/2018
64
3.3 模块总览
3
图 3.3 - 1 SWS 总览
3
(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或 LDU X）的安装
位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
1
2
3
4
5
6
7
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版本 04/2018 3.3 模块总览
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3
图 3.3 - 2 SWS 供应单元前视图
3
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
3
2
1
7
6
5
4