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3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.3 模块总览 版本 04/2018 66 3 图 3.3 - 3 SWS 组件总览 (1) 夹持单元 (2) 晶圆相机 (3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件 (5) 导轨 4 3 1 2 5
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.3 模块总览
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图 3.3 - 2 SWS 供应单元前视图
3
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
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2
1
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5
4
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.3 模块总览 版本 04/2018
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图 3.3 - 3 SWS 组件总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
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3.4 SWS 的模块说明
3.4.1 供应单元
3
图 3.4 - 1 供应单元 （示例 SWS 2/4）
3
(1) 设置倒装头段位器或晶粒贴附段位器的鼓
风
(2) 电压供应
(3) 连接 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (4) CAN 总线 （仅用于 SW 605.x）
(5) 连接自 SIPLACE CA4 V2 的压缩空气软管
开孔
(6) LAN1 - 与外部映射服务器通信
(7) LAN2 - 与 SIPLACE CA4 V2 及其他 SWS
通信
(1)
(2)
(3)
(4)
(6)
(7)
(5)