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3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018 72 3 图 3.4 - 5 插入了晶圆的晶圆支撑 件 （ 以 12" 为例） (1) 锁定杆插销上用于定 义定位的凹槽 (2) 晶圆锁定杆 (3) 晶圆 (4) 导轨 3 请注意 夹持期间的框架识别问题 如果晶圆锁定杆 （2）没有被正确连接，在夹持期间框架将无 法被正确识别。 如果使用了 8&quo…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
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3.4.4.1 晶圆支撑件
晶圆支撑件被安装在 X-Y 单元上，因此属于晶圆台的一部分。 晶圆被固定在这里完成推送程序。
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图 3.4 - 4 未插入晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为例）
(1) 用于锁定和位置识别的插销
(2) 晶圆锁定杆
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请注意
如要处理 8" 或 6" 的晶圆，您需要更换晶圆支撑件。
结合相应的适配器可以使用 6" 晶圆。
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3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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图 3.4 - 5 插入了晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为例）
(1) 锁定杆插销上用于定义定位的凹槽
(2) 晶圆锁定杆
(3) 晶圆
(4) 导轨
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请注意
夹持期间的框架识别问题
如果晶圆锁定杆 （2）没有被正确连接，在夹持期间框架将无法被正确识别。
如果使用了 8" 晶圆支撑件，在连接晶圆锁定杆 （2）时请确保锁定杆的插销可以与
晶圆框上的凹槽啮合。
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3.4.5 晶粒推送器
根据装配位置的不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）将使用两种不同的设置，它们的不同之处只有
模块的镜像颠倒布局。
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图 3.4 - 6 主要晶粒推送器模块
(1) 推送工具
(2) Z 轴
(3) Z 轴运动 （气动）
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