00198373-01_UM_SWS-ZH - 第76页
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018 76 3.4.7.1 晶圆盘升降机 3 图 3.4 - 9 晶圆盘升降机 (1) 带可调节晶圆盘托板的晶圆盘支 架 (2) 马 达 (3) 带有保护盖的晶圆交换器 2 3 1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
75
3.4.7 晶圆交换系统
晶圆交换系统由晶圆盘升降机和带有夹持器的晶圆交换器组成。
为保证 SWS 可以实现全自动化生产，需要使用晶圆交换器系统。 只有向晶圆盘升降机装入新的
晶圆盒时才需要操作员。
晶圆通过一个晶圆盘提供。 晶圆盘由用户安放到晶圆盘升降机中。 晶圆盘升降机将晶圆盘抬升到
正确的高度，使相应的晶圆位于交接位置。 在这个位置，晶圆交换器可以从晶圆盘中取出晶圆，
并在晶圆被处理后将其推回原位。
晶圆交换器主要由夹持器单元和导向轨组成。 夹持器单元将晶圆拾起并把它移动到当前要求的位
置。
3
图 3.4 - 8 晶圆交换系统
(1) 带有夹持器的晶圆交换器
(2) 晶圆盘升降机
1
2
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
76
3.4.7.1 晶圆盘升降机
3
图 3.4 - 9 晶圆盘升降机
(1) 带可调节晶圆盘托板的晶圆盘支架
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
2
3
1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
77
3.4.7.2 可调节晶圆盘托板
3
图 3.4 - 10 可调节晶圆盘托板
3
止动条可以安装在 6"、8" 或 12" 晶圆盘的相应位置中。
(1) 用于固定装配位置的止动条 （用于 6"、8"
或 12 " 晶圆盘）
(2) 用于可变装配位置的止动条 （用于 6"、8"
或 12 " 晶圆盘）
(3) 晶圆盘识别
2
1
3