00198373-01_UM_SWS-ZH - 第90页
5 SW S 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 版本 04/2018 90 5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 将晶圆盘升降机移到吸嘴盘更换位置，使 晶圆盘升降机与更换位置的高度齐 平。 打开晶圆盘升降机的 SWS 推拉门，然后 将晶圆盘放到托板上。 晶圆的对中卡槽必须对准设 备。 请确保晶圆盘已正确锁定。 图 5.2 - 1 插入晶圆盘 5 5.2.1 向上旋转晶…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.1 填充晶圆盘
89
5SWS 任务
本章包括若干个可以帮助您在 SIPLACE 生产线上完成日常作业的主题。 例如，通过本章内容，
您可以了解到能够最大程度减少停机的预防性措施，从而在生产过程中最大限度地提高 SIPLACE
生产线的效率。
5
5.1 填充晶圆盘
用晶圆框重新装满晶圆盘。晶圆框的对中卡槽必须对着晶圆盘的开口。
5
请注意
有资质人员正确使用
使用不正确可能对生命和肢体造成伤害并可能造成设备损失。
只有具备相关资质的人员才可以运行、操作 SIPLACE 晶圆系统或对其进行作业。 更
多相关信息，请参见第 14
页第 1.1.5 节。
必须通过接受培训或工作人员授课指导获取这些资质证明。 这些授课指导必须由经
过 SIPLACE 培训和授权的人员提供。 有关培训课程总览，请参阅第 29
页第 1.3
节。
请注意
为 5、4 或 7 英寸的晶圆使用晶圆框适配器时，请确保您仅使用每第二个卡槽。
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 版本 04/2018
90
5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中
将晶圆盘升降机移到吸嘴盘更换位置，使晶圆盘升降机与更换位置的高度齐平。
打开晶圆盘升降机的 SWS 推拉门，然后将晶圆盘放到托板上。 晶圆的对中卡槽必须对准设
备。 请确保晶圆盘已正确锁定。
图 5.2 - 1 插入晶圆盘
5
5.2.1 向上旋转晶圆盘和关闭晶圆盘
为对无法从上方操作的组件执行维修工作，您将需要从正面建立一个通道以便操作 SWS 内部。
详情请参阅 SWS 维护手册。
请注意
在插入晶圆框时，晶圆框里的凹槽必须对着馈入方向。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置
91
5.3 为推送系统设置顶针配置
在 SWS GUI 中切换到手动操作 -> 晶圆处理视图，然后点击前往更改位置按钮。
晶圆台已被移除。
在 SWS GUI 中，切换到手动操作 -> 晶粒处理视图，然后选择推送单元选项卡。
点击这个 按钮。
晶粒推送器向上移动，以便可对其进行操作。
5
打开 SIPLACE CA4 V2 上的侧推拉盖。
5
5
图 5.3 - 1 晶粒推送器的推送系统，磁性
谨慎
损坏的危险！
当手动移动晶圆台时，被向上移动的推送系统可能与晶圆台发生碰撞而损坏。
不要手动推入晶圆台。
谨慎
被尖锐顶针刺伤的危险
存在被推送系统上的尖锐顶针刺伤的危险。
1
3
2
4
5