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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务 版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置 93 5.3.1 使用校准标准 03098221-xx 设置顶针 对于磁性晶粒推送器，部件号 03098221- xx 对于带卡口锁的晶粒推送器 （旧版）； 部件号： 03080191-xx 装备 – 顶针属于备件 – 晶粒推送器的校准标准 （磁性）(03098221-xx) 用晶粒推送器的校准标准将所有顶 针调整…
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.3 为推送系统设置顶针配置 版本 04/2018
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拉出推送系统 (1)。
拔下黑色帽 (2) 以露出引导头 (3) 中的顶针。
顶针可以夹入到 4 个扇区中。 中间可以夹一根顶针。 5
平头螺丝 (4) 将顶针夹入到 4 个段位器中的相应位置。
中间的顶针使用下部平头螺丝 (5) 夹入到位。 5
在 4 个段位器的小孔中安装适合您的应用的相应顶针。
5
图 5.3 - 2 顶针位置图 （示例）
– 推送系统 5 个顶针，间距 3.5 mm (00385535-02)
– 推送系统 5 个顶针，间距 2 mm (00386908-02)
使用相关校准标准执行以下调整。
3.5 mm 或 2 mm
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版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置
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5.3.1 使用校准标准 03098221-xx 设置顶针
对于磁性晶粒推送器，部件号 03098221-xx
对于带卡口锁的晶粒推送器 （旧版）； 部件号： 03080191-xx
装备
– 顶针属于备件
– 晶粒推送器的校准标准 （磁性）(03098221-xx)
用晶粒推送器的校准标准将所有顶针调整到设定的高度和同一个水平面上。 5
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图 5.3 - 3 晶粒推送器的校准标准 （磁性）- 部件号：03098221-xx
移除推送系统的黑色帽。
小心地将所有顶针插入到段位器中，并将这些顶针在同一条线上对齐。
松弛地拧紧平头螺丝。 这些顶针需要依然是可移动的。
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图 5.3 - 4 晶粒推送器的校准标准 （磁性）
将推送系统 (1) 插入到晶粒推送器的校准标准中。
将推送器部分旋转到设备中。 设备的中间螺栓必须紧靠推送器柱塞，青铜部分必须可以根据
半径榫头灵活张紧。
将推送器部分 （青铜）旋转到所需位置。
轻轻将青铜部分向下按压到棱柱。
将推送器顶针推入到所需孔中 （您需要松开螺纹销）。
将弹簧张紧调节滑块移向止动螺栓并予以紧固。
使用镊子将推送器顶针推向调节表面，并拧紧推送器顶针和螺纹销 （扭矩 10 Ncm）。
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