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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务 版本 04/2018 5.4 检查和配置倒装单元上 的工具和吸嘴 95 5.4 检查和配置倒装单元上的工具和吸嘴 打开 SIPLAC E CA4 V2 上的侧推拉盖 。 5 图 5.4 - 1 装有吸嘴和弃置箱的倒装单元 图例 5 检查倒装单元上工具和吸嘴的状态和 类型。 如有 需要，请更换新的或者适用于生产的吸嘴。 您可以使用 SIPLACE 贴片机标准吸嘴…
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.3 为推送系统设置顶针配置 版本 04/2018
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图 5.3 - 4 晶粒推送器的校准标准 （磁性）
将推送系统 (1) 插入到晶粒推送器的校准标准中。
将推送器部分旋转到设备中。 设备的中间螺栓必须紧靠推送器柱塞，青铜部分必须可以根据
半径榫头灵活张紧。
将推送器部分 （青铜）旋转到所需位置。
轻轻将青铜部分向下按压到棱柱。
将推送器顶针推入到所需孔中 （您需要松开螺纹销）。
将弹簧张紧调节滑块移向止动螺栓并予以紧固。
使用镊子将推送器顶针推向调节表面，并拧紧推送器顶针和螺纹销 （扭矩 10 Ncm）。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.4 检查和配置倒装单元上的工具和吸嘴
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5.4 检查和配置倒装单元上的工具和吸嘴
打开 SIPLACE CA4 V2 上的侧推拉盖。
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图 5.4 - 1 装有吸嘴和弃置箱的倒装单元
图例
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检查倒装单元上工具和吸嘴的状态和类型。 如有需要，请更换新的或者适用于生产的吸嘴。
您可以使用 SIPLACE 贴片机标准吸嘴或者带有正确适配器吸嘴的橡胶头。
继续检查弃置箱。
(1) 吸嘴段位器 1 (2) 吸嘴段位器 2
(3) 弃置箱
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5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.5 检查倒装单元的弃置箱 版本 04/2018
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5.5 检查倒装单元的弃置箱
检查和清空倒装单元上的弃置箱 （5.4 - 1 中的部件 3）。
在替换弃置箱时请确保衬底表面的清洁并保证弃置箱已正确固定在其安装位置。 否则它们将
不会被传感器辨识。
关闭 SIPLACE CA4 V2 上的侧推拉盖。
5.6 用晶圆交换器系统为 SWS 装入新的元件
针对某晶粒类型 （在用户界面中注明）处理完所有晶圆后，立即将晶圆盘升降机移到吸嘴盘
更换位置，使晶圆盘升降机与更换位置的高度齐平。
移除晶圆盘升降机上的晶圆盘，然后替换已处理完的晶圆。
另外，您也可以用另外一个已经准备好新晶圆的晶圆盘把已经处理完的晶圆盘替换掉。
更换晶圆盘且 SWS 推拉门关闭后，系统将自动执行晶圆盘扫描。 5
5.7 班次更换时的任务
检查倒装头上的工具是否都已经正确固定 （见第 95 页第 5.4 节），接着如有要求，请检查晶
粒贴附头上的工具。 ‐
清除设备上的所有元件。
清空元件弃置箱。
检查是否已安装了正确的多顶针套件 （见第 91 页第 5.3 节 ）。
清除 LDU 内的所有焊剂并使用清洁循环用酒精彻底清洁 LDU。 更多细节，请参见
《SIPLACE LDU-X 用户手册》（德语版项目编号 [00196057-xx]）。