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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务 版本 04/2018 5.9 控制部件和显示屏 99 5.9.2 说明 一个身高 1.4 0 m 的人即可触摸 到所有控制部件。 主开关 主开关用于接通和断开 SWS 的 电源。 5 EMERGENCY STOP （急停）按钮 EMERGENCY STOP （急停） 按钮在按下后即被锁定在 ON （开） 的位置上。 电源将被 切断。 旋 转松开按钮。 LCD 触摸屏 …
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.9 控制部件和显示屏 版本 04/2018
98
5.9 控制部件和显示屏
5.9.1 总览
5
图 5.9 - 1 控制部件和显示装置
(1) 主开关 (3) LCD 触摸屏
(2) EMERGENCY STOP （急停）按钮 (4) 键盘
(1)
(2)
(3)
(4)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.9 控制部件和显示屏
99
5.9.2 说明
一个身高 1.40 m 的人即可触摸到所有控制部件。
主开关
主开关用于接通和断开 SWS 的电源。
5
EMERGENCY STOP （急停）按钮
EMERGENCY STOP （急停）按钮在按下后即被锁定在 ON （开）的位置上。 电源将被切断。 旋
转松开按钮。
LCD 触摸屏
每个 SWS 都装配有一个具备 LCD 技术和触摸屏功能的纯平显示器，用于操作 SWS 软件。
键盘
键盘位于显示器下方。
5
USB 连接
5
图 5.9 - 2 USB 连接
LCD 屏幕旁边有一个 USB 接口 (1)。
危险
致命电压！
SWS 内的某些部分携带有可能致命的电压 —— 即便主电源开关已被关闭。
谨慎
撞到显示器和键盘的危险
操作 SWS 时，存在撞到显示器和键盘的危险。
将显示器和键盘移到一边。
确保不要将头伸到显示器和键盘下方。
(1)
