KE-3010_20V操作手册（操作员用）.pdf - 第39页
操作手册 I 3-24 S tep6 执行生产。 在“基板生产”画面上设置“生产计划数量” ，按下[开始开关]后，即开始生产。 警告 按下[开始开关]后，装置即开始移 动。 为避免伤害人身，请绝 对不要把手或头部等伸入装置内 部。 要使用 IFS-NX 的选项功 能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成 元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产 。 LASER ON 2. 按下「确定」按钮 。 1. 执行…
操作手册 I
3-23
2. 按下[执行检查]。
如果安装有选购项 VCS 时，通过一次检
查，即可进行标准（装备）、选购项的脏
污检查。
1.按下[VCS 弄脏检查]。
3. 确认状态是否为正常。
*发现“弄脏”时，请按照『操作手册 II』
的「第 3 章 维护」进行 VCS 的清扫。
操作手册 I
3-24
Step6 执行生产。
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用
IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产
。
LASER ON
2. 按下「确定」按钮。
1. 执行「支援准备」的各项作业后,会
显示勾号。
确认所有项目均已显示勾号。
3. 显示「生产」的画面。
输入「生产计划数量」。
4.按下[开始开关]后，开始生产。
操作手册 I
3-25
7. 显示中断画面。
按[开始开关]，则继续进行生产。
按[停止开关]，则停止生产。
LASER ON
LASER ON
5. 按一次[停止开关]，会进入暂停状
态。再按一次，则显示中断画面。
6
.
进入暂停状态，显示「暂停」画面。
*为了避免故障，
要进行安全盖的开闭时
请按[安全盖解除锁定]按钮。