KE-3010_20V操作手册（操作员用）.pdf - 第56页
操作手册 I 4-14 用棉纱布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。 清扫部位 4-3-2 X轴 CB支撑 实施频度 ：每 6 个月 清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：棉纱布 CB 支撑部分 X 轴电缆套
操作手册 I
4-13
<XL 基板规格>
Y 轴直动单元
X 轴直动单元
操作手册 I
4-14
用棉纱布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。
清扫部位
4-3-2 X轴 CB支撑
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：棉纱布
CB 支撑部分
X 轴电缆套
操作手册 I
4-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
<M、L、L-Wide 基板规格>
清扫部位
4-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
使用工具：棉纱布
清扫内容 清扫传感器视窗
推荐溶剂 ：IPA
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
IN,OUT 传感器