KE-3010_20V操作手册（操作员用）.pdf - 第58页
操作手册 I 4-16 <XL 基板规格> IN,OUT 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
操作手册 I
4-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
<M、L、L-Wide 基板规格>
清扫部位
4-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
使用工具：棉纱布
清扫内容 清扫传感器视窗
推荐溶剂 ：IPA
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
IN,OUT 传感器
操作手册 I
4-16
<XL 基板规格>
IN,OUT 传感器
WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
操作手册 I
4-17
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
4-3-4 CAL块
实施频度 ：每周
使用工具：棉纱布
清扫内容 清扫 CAL 块
推荐溶剂 ：IPA
①
②