KE-3010_20V操作手册（操作员用）.pdf - 第92页
操作手册 I 4-50 4) 拆下连接在真空泵上的气管、电线（电源、地线） 。 5) 取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。 6) 拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺母④。 7) 将真空泵从前侧拉出。 （拉出时请注意电线。 ） 更换 密封圈的更换 1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓 (M5 × 20) 。 2） 取下泵头护罩内测的黑色 密封圈， 共 2 个，更换上新的密封圈。 ※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封圈圈槽…
操作手册 I
4-49
＜XL 规格 更换准备＞
※为
电动台架规格时，请按照前项中的「切带单元的更换」，取下切带单元。
1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。
（请注意开动后很快会发烫。）
2） 请取下前侧①和后侧②的盖罩。
3） 取下前侧的真空泵盖罩。
①
②
前侧
后侧
③
④
操作手册 I
4-50
4) 拆下连接在真空泵上的气管、电线（电源、地线）。
5) 取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。
6) 拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺母④。
7) 将真空泵从前侧拉出。（拉出时请注意电线。）
更换 密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封圈圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在不
关闭护罩状态下参照各部位的更换工序项目）
泵头护罩
密封圈 内六角螺栓 泵头盘
取下气管的位置
缆线捆束线
前侧
后侧
③
④
操作手册 I
4-51
更换 更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
2） 将碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，换上新的 O 环。
※请按照密封圈的更换顺序，安装护罩。更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更
换步骤操作。
O 环 S-67
碗形密封气缸
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头
盘
O
环
S-67
泵头
盘