JM-10_操作手册 - 第56页
操作手册 3-12 请确认各个插头的连接确实无误。(键盘、HOD 等) 请切断电源后,再进行各接插头插拔等操作。 ・ 绝对不要在不同电压规格下使用。 ・ 接通电源时,请确认装置是处于安全状态下。 ・ 接通电源时,请确认无人在进行装置内部的作业。 ・ 接通电源时, 请确认装置内部没有安装、 或放置妨碍各种动作的物体 (调 整工具等) 。 ・ 供气时,必须先切断电源。 为防止触电等重伤事故,请关闭总电源。 总电源开关是指安装在建筑物的电源开…

操作手册
控制印刷基板传送方向的 “固定挡块(挡销)” 的端部,安装有“挡片①”。 “挡片①”因
与基板摩擦会有磨损。
1) 挡片出现磨损、表面涂层剥离、基板定心不稳等现象时,请更换挡片。
1. 拧松螺丝②,更换挡片①。
2. 一定要按照下图(C)所示方向,安装挡片①。
检查项目
3-2-9 挡片
实施频度 :每周
检查内容 检查挡片的磨损、破损
更换 更换挡片 使用工具 :螺丝刀 更换标准 :2 年
挡块单元详细图
停止传感器
传送方向
IN 传感器
OUT 传感器
挡块单元
②螺丝:品目号
SM1030401SE
①挡片:品目号
E2233725000
3-11

操作手册
3-12
请确认各个插头的连接确实无误。(键盘、HOD 等)
请切断电源后,再进行各接插头插拔等操作。
・
绝对不要在不同电压规格下使用。
・
接通电源时,请确认装置是处于安全状态下。
・
接通电源时,请确认无人在进行装置内部的作业。
・
接通电源时,请确认装置内部没有安装、或放置妨碍各种动作的物体(调
整工具等)。
・
供气时,必须先切断电源。
为防止触电等重伤事故,请关闭总电源。
总电源开关是指安装在建筑物的电源开关,不是指主机上的开关。
检查项目
3-2-10 电缆、插头
实施频度 :每天
检查内容 检查确认电缆、插头的连接情况
HOD
键盘
鼠标
注
意
警告
危险

操作手册
1) 在压力表上确认压力为 –90 ~ -100kPa。
压力较低时,需要更换消耗零件。
下列部件的耗损,可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号:40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
需要更换下述时,请另行购买。
・真空黄油 货号:40119551
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号:40119552
在拧紧固定器时(更换碗形密封垫圈、
防止吸气阀碰触胶垫)需要。
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热,
必须停止,放置约 30 分钟,
确认泵已经冷却后,
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
检查项目
3-2-11 真空泵压力
实施频度 :每天
检查内容 确认真空压力
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 :
六角扳手、螺丝刀
更换频度 :9 个月
3-13