JM-10_操作手册 - 第58页
操作手册 3 ) 拆下连接真空泵的气管①、 再拆下线綑 ( 电源、地线 ) ②、 把固定 VAC_PU MP_PLATE ③的 六角凹头螺栓 (M4 × 8) ④拆下来。 4) 把真空泵从主体中取出。 ( 取出时，请注意线綑。 ) ※ 取下真空泵时，真空泵托架⑤与橡胶薄片⑥有时会粘连。 剥开粘连的橡胶片时，请在操作中不要把手碰到周围的部件。 ※ 取下真空泵时请不要手持連接管⑦。 密封垫的更换 1 ） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共…
操作手册
1） 在压力表上确认压力为 –90 ～ -100kPa。
压力较低时，需要更换消耗零件。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
需要更换下述时，请另行购买。
・真空黄油 货号：40119551
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号：40119552
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、
防止吸气阀碰触胶垫）需要。
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，
确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
检查项目
3-2-11 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
3-13
操作手册
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定 VAC_PUMP_PLATE③的
六角凹头螺栓 (M4×8)④拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。 (取出时，请注意线綑。)
※ 取下真空泵时，真空泵托架⑤与橡胶薄片⑥有时会粘连。
剥开粘连的橡胶片时，请在操作中不要把手碰到周围的部件。
※ 取下真空泵时请不要手持連接管⑦。
密封垫的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。
※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合情况。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 的力进行对角拧紧。
（在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个部位的更换工程项目）
泵头盖
内六角螺栓×8
密封垫
泵头护罩的内侧
③
④
⑦
挂钩式
(该托架是固定在主机上的。)
⑥
⑤
①
②
(
④
)
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操作手册
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖
和泵头支架。
※ 泵头支架与碗形密封气缸之间的 O 环 S-67 有时会粘连。
此时如将泵头支架抬起，碗形密封气缸会被一起往上拉。
这种情况下，请撕开剥离之后再进行操作。
2） 更换碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，更换上新的 O 环。
※ 盖子的安装，请遵照密封圈的更换顺序实施。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下
参照个部位的更换工程项目。
泵头支架
将泵头支架反过来的状态
碗形密封气缸
泵头支架
O 环 S-67
O 环 S-67
碗形密封气缸
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