JM-10_操作手册 - 第70页
操作手册 1) 请检查 O CC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。 有灰尘或异物时,请用气枪去除。 清扫部位 3-3-9 OCC (偏光滤光片) 实施频度: 每周 清扫内容 清扫 OCC (偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪 偏光滤光片 3- 26

操作手册
1) 「滑动托盘①」上若有芯片或垃圾,会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行送料器台架的清扫。
此外,在安装带式送料器类之前,若发现有芯片等异物,也请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
3-3-7 ATC 单元
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具:抹布
推荐溶剂: IPA
清扫部位
3-3-8 送料器台架
实施频度:每周
清扫内容 清扫送料器台架的灰尘、异物 使用工具: 吸尘器
送料器台架
①
3-25

操作手册
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时,请用气枪去除。
清扫部位
3-3-9 OCC(偏光滤光片)
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 OCC(偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪
偏光滤光片
3-26

操作手册
1) 检查 VCS 上面(窗口和 LED)有无灰尘等异物,若有脏污,请用干抹布或纱布擦干净。
把 VCS 上面的脏污擦拭干净,LED 的灰尘用气枪吹干净。
清扫部位
3-3-10 VCS 单元
实施频度 : 每周
清扫内容 清扫 VCS 上面 使用工具:抹布
推荐溶剂 : IPA
使用酒精以外的溶剂(丙酮、信纳水等),会使传感器视窗周围
的树脂部分溶化,切不可使用。
注意
窗口 LED
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