TR7007_V1.4 - 第23页

Test Research Inc. TR 7007 User Guide -- So ftware 23 偏移量示意 圖 圖 32 2.1.9.4 檢測鈕與覆判鈕 使用者可以點擊檢測 / 跳離按鈕執行檢測或取消當前檢測動作。 執行檢測或 跳離的介面 示意圖 圖 33 每次檢測過後,若模式設定下選擇【不良品等待確認】則介面上會出現覆判鈕。使用 者需針對當前機台檢測出缺點的受測板進行覆判。  不良:機台檢出有缺點,經使用者覆判為不良品。…

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面積直方圖示意圖 30
體積:X軸代表百分比,Y 軸代表該百分比的累計數量,圖中顯示平均值與兩
倍標準差的範圍。
體積直方圖示意圖 31
偏移:可看出整體 X/Y 偏移量的分佈情形與趨勢。
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TR7007 User Guide--Software 23
偏移量示意 32
2.1.9.4 檢測鈕與覆判鈕
使用者可以點擊檢測/跳離按鈕執行檢測或取消當前檢測動作。
執行檢測或跳離的介面示意圖 33
每次檢測過後,若模式設定下選擇【不良品等待確認】則介面上會出現覆判鈕。使用
者需針對當前機台檢測出缺點的受測板進行覆判。
不良:機台檢出有缺點,經使用者覆判為不良品。
合格:機台檢出有缺點,經使用者覆判為良品。
停止:使用者要進行檢測資料編輯時,則選擇此項目。
覆判鈕介面示意圖 34
2.1.10 當前 10 板統計圖
顯示 10 片內受測板體積、面積、高度、偏移量於不同的量測參數下的統計長條圖,
亦能顯示檢測結果與刮刀方向,以利使用者進行製程上的問題分析。
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數據統計直方圖 35
選擇當前檢示的類型:可使用滑鼠滾輪選擇欲檢示的類型,分為:高度/面積/體積。
顯示平均值/標準差:點選介面中 的圖示,可顯示每一片平均值與標準差。
顯示平均值與標準差示意圖 36
選擇最大累計數量:點擊 圖示後可看到有數值從 100~5000 供使用者選擇,這些數
值代表長條圖所顯示的計數最多可顯示的範圍;即便勾選的計數遠超過長條圖中計數
的最大時,軟體仍會自動調整成可顯示的狀態。