SM471PLUS_Admin(Chi_Ver2.3) - 第373页
13-45 Machine Cal ibration 备 注 参考下列图请把校正 T o ol 正确放置到 ANC 的校正 T ool 处。 5. 消息窗显示 “ 准备标准。 对于标准, 点击 [ 下一步 ]” 消息。 此时 , 点击 < 亮度 > 按 钮后在 “ 亮度控制 ” 对话框中使 ’SMV ision’ 窗口显示的 Calibration T ool 上的 Fiducial Mark 明显, 调 整照明亮度后点击 …

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13.3.10.2. Camera Offset Calibration
测量基准相机的中心到各Gantry的第一个Head(Head 1, Head11)间的Offset。
只有完成了此过程,才能在以后校正中使用Auto Nozzle Change。本过程仅在
Manual Mode下执行。
校正基准相机的偏差。为校正基准相机的Offset必须先‘Fix-Camera Calibration’和
‘Fiducial Camera Scale Calibration’。为执行校正必须使用平板Calibration Tool。
下面是 Fiducial Camera Offset的校正步骤。
1. 点击<8. Camera Offset> 按钮则在消息窗显示 “首先,我们必须把所有吸嘴手动
离开朝向。将 Z轴调制低处,点击[下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸
嘴,拉下磁头的Z轴请点击<下个> 按钮。
2. 那么,Head Assembly移动到设备指定的位置后,拉下所有的 Z轴。此时,请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
3. 显示 “下一步,将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后,手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头2号的吸嘴支架上手动贴装Calibration Tool后
请点击<下个>按钮。
4. 消息窗显示 “移动到中心位置校正工具。移动,点击[下一步]。”
为了把基准相机移动到ANC顶面的校正 Tool位置,请点击<下个>。此时调整校
正Tool位置,使校正Tool中心的Fiducial Mark位于’SMVision’窗口的十字线中
心。

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Machine Calibration
备 注 参考下列图请把校正 Tool正确放置到ANC的校正 Tool处。
5. 消息窗显示 “准备标准。对于标准,点击[下一步]” 消息。此时, 点击<亮度> 按
钮后在 “亮度控制” 对话框中使’SMVision’窗口显示的 Calibration Tool上的
Fiducial Mark明显,调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。

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7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后,手动移
出吸嘴。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴,请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset对话框中确认。