SM471PLUS_Admin(Chi_Ver2.3) - 第375页
13-47 Machine Cal ibration 备 注 Fiducial Camera Of fset (FOV 7.5) 的校正基准值如下。 Camera Of fset Of fse t X : -189.5mm ~ -187.5mm Of fse t Y : -1.0m m ~ 1.0mm 13.3.10.3. Head Z / R Offset Calibration PCB 顶面到 Z 轴 Home 的距离是机械设置…

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7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点击[下一步]向下移动头部。移动后,手动移
出吸嘴。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴,请点击<下个>按钮。之后清
除ANC上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset对话框中确认。

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Machine Calibration
备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5)的校正基准值如下。
Camera Offset
Offset X : -189.5mm ~ -187.5mm
Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm
13.3.10.3. Head Z / R Offset Calibration
PCB顶面到Z轴Home的距离是机械设置的。Z Offset 校正为以PCB顶面基准,利用
空压测量对此距离的Offset。
R Offset 校正为以吸嘴支撑架0度基准进行整列,测量对角度的Offset。
以下是执行Z Offset 校正的过程,使用的吸嘴为校正用CN040吸嘴。
1. 点击<准备吸嘴>按钮,手动清除插入在所有Head吸嘴支撑架的吸嘴后把
CN040吸嘴插入到ANC的2号孔中。Gantry1时前面ANC的2号孔、 Gantry2时
后面ANC的2号孔中插入CN040吸嘴。
测量Z Offset的位置为从前面ANC的校正 Tool位置(中心)脱离3mm处,如果
此处有异物或校正 Tool时,请预先清除。

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2. 在<Grid>领域中选择执行校正的Head Z轴后,选择<Automatic> 校验框,之后
点击<Detect Z Offset>按钮。(在此任意设置成Head1)
3. 那么Head会自动移动到ANC上的指定位置。之后设备产生空压从Head1号开始
到Head10依次自动下降Spindle的同时执行校正。
4. 完成校正后自动把结果反应在<Grid>领域的Z列上。手动进行时,手动给各
Head上依次插入CN040后,在Vacuum对话框中确认Head的空压状态的同时下
降Spindle执行校正。
5. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。