3. SM411F_Administrators_Guide(Kor_Ver5) - 第363页

12-51 Machine Calibration V acuum 대화상자에서 헤드의 공압상태를 확인하면서 Spindle 을 하강시켜서 캘 리브레이션을 수행해야 합니다 . 5. 캘리브레이션 결과를 장비에 적용하려면 <Update> 버튼을 클릭하십시오 . 메 모 정상적인 Z Offset 값은 다음과 같습니다 .  Head1~ Head12: -1.5 ~ 1.5 mm Z Offset 값이 …

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Gantry2
Offset X : 210.5mm ~ 208.5mm
Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm
12.3.10.3. Head Z / R Offset Calibration
PCB 상면에서 Z Home 까지의 거리는 기구적으로 설정되어 습니다. Z Offset
Calibration PCB 상면을 기준으로 거리에 대한 Offset 공압을 이용하여 측정
합니다.
R Offset Calibration 노즐 홀더를 0도를 기준으 정렬시키기 위해 각도에 대한
Offset 측정합니다.
다음은 Z Offset Calibration 실행하는 과정이며, 사용되는 리브레이션용 노즐
CN040 노즐입니다.
1. <Nozzle Prepare> 버튼 클릭하여, 모든 헤드의 노즐 홀더에 삽입된 모든 노즐
들을 수동으로 제거하고 CN040 노즐을 ANC 15 홀에 삽입하십시오.
(Gantry 1 – 전면 ANC 15 , Gantry 2 – 후면 ANC 15 )
2. <Grid> 영역에서 캘리브레이션을 실행할 HeadZ축을 선택하고, <Automatic>
체크박스를 선택한 <Detect Z Offset> 버튼을 릭하십시오.
3. 그러면 자동으로 Head ANC 상의 지정된 위치로 이동합니다 . 그리고, 장비가
공압을 발생시키고, Head 1번부터 Head 6번까지 차적으로 자동으로 Spindle
하강시키면서 캘리브레이션을 수행합니다.
이때, ANC상의 지정된 위치에 이물질 존재하 안됩니다.
4. 캘리브레이션이
료되면 자동으로 결과를 <Grid> 영역의Z열에 반영합니다.
수동으로 진행시, 수동으로 헤드별 순차적으로 CN040 노즐을 삽입히,
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Vacuum 대화상자에서 헤드의 공압상태를 확인하면서 Spindle 하강시켜서
리브레이션을 수행해야 합니다 .
5. 캘리브레이션 결과를 장비에 적용하려면 <Update> 버튼을 클릭하십시오.
정상적인 Z Offset 값은 다음과 같습니다.
Head1~ Head12: -1.5 ~ 1.5 mm
Z Offset 값이 범위를 벗어 경우, 헤드에 심각한 기구적인
문제가 있으므로 위치, 스핀들, LM 그리고 모터의 동작이
상적인지 확인해야 됩니다.
다음은 R-Offset Calibration 실행하는 과정입니다.
1. <Grid> 영역에서 캘리브레이션을 실행할 HeadR 값을 모두 0 입력합
니다.
2. <Grid> 영역에서 캘리브레이션을 실행할 HeadR축을 클릭하고 <Nozzle
Holder Check> 버튼을 클릭합니다.
3. 그러면, Please Check and Register Nozzle CNT0 to ANC 1-2 Hole. First, We must
Put all Nozzles from Heads manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next]. 라는
메시지가 메시지박스에 나타납니다. <Next> 버튼을 클릭해서 수동으 모든
드에 물려 있는 노즐을 제거하십시오.
이때, ANC에는 가상의 노즐인 CNT0 ANC 1 홀에 설정
되고 해당 헤드
CNT0 노즐을 Pick 것으로 간주됩니다.
4. Up to Align Height and Mirror Close. To Move, Click [Next]”라 메시지가 나타
납니다. 그러면 , Fly Camera에서 헤드의 노즐 홀더를 있도록 Spindle
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품인식 높이까지 상승시키고 Mirror 닫기 위해서 <Next> 버튼을 클릭하십시
.
5. 'Current Position' 창을 Open하십시오.
6. 티칭 박스를 용하여 노즐 홀더의 모양이 '( )' 되도록 R축방향으로 스핀들을
회전시키십시오. 기구적으로 연동된 헤드의 노즐 홀더는 같은 방향으로
조립되어 있어야 합니다.