3. SM411F_Administrators_Guide(Kor_Ver5) - 第381页
12-69 Machine Calibration <Automatic> 또는 <Manual> 중 어느 체크박스도 선택하지 않고 캘리브레이션을 수행하면 현재 선택된 헤드에 대해서 자동으로 노즐 을 교환하지만 <Next> 버튼 을 클릭하여 다음 단게로 진행합니다 . 2. <12. R-Axis Offset> 버튼을 선택하면 “ First, W e must P…
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메 모 Fly to Fix Offset의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니다.
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset의 캘리브레이션 기준값은 다음과 같습니다.
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
12.3.10.8. R-Axis Offset Calibration
R축의 인식각도와 장착각도가 서로 다른 경우, R축의 오차를 Vision을 통해서 모두
보상하지 못 하기 때문에 장착 정도가 나빠집니다.
그러므로, R축의 Motion을 데이터로 하여 근사치를 보상함으로써 이런 오차를 최
소화하기 위하서 R-Axis Offset Calibration을 수행합니다.
이 캘리브레이션을 수행하기 위해선 CNT20 노즐을 사용하여야 합니다.
다음은 R-Axis Offset을 캘리브레이션하는 과정입니다.
1. <Nozzle Prepare> 버튼을 클릭하여 수동으로 ANC 1번 홀에 CNT20노즐을 삽입
하십시오.
<
Automatic Next> 체크박스를 선택하고 <13. R-Axis Offset> 버튼을 클릭하면 자
동으로 선택된 Gantry에 대해서 캘리브레이션을 수행합니다
<No Real Motion[Manual]> 체크박스를 선택하고 캘리브레이션을 수행하면 수동
으로 각 헤드별로 노즐을 삽입하면서 <Next> 버튼을 클릭하여 다음 단계로 진행
합니다.
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Machine Calibration
<Automatic> 또는 <Manual> 중 어느 체크박스도 선택하지 않고 캘리브레이션을
수행하면 현재 선택된 헤드에 대해서 자동으로 노즐을 교환하지만 <Next> 버튼
을 클릭하여 다음 단게로 진행합니다.
2. <12. R-Axis Offset> 버튼을 선택하면 “First, We must Put all Nozzles From Heads
manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next].” 라는 메시지가 나타납니다. 헤
드의 노즐홀더에 삽입되어 있는 모든 노즐을 수동으로 제거하기 위해서 헤드의
Z축을 하강시키려면 <Next> 버튼을 클릭하십시오.
3. 그러면, Head Assembly가 장비의 원점 위치(Home Position)로 이동한 후, 모든 Z
축을 하강합
니다. 이 때, 수동으로 삽입되어 있는 모든 Nozzle을 제거하십시오 .
4. “Next Attach the Calibration Tool to Head 1. Click [Next] for Moving Down Head.
After Moving, Attach the Calibration Nozzle to head Manually.”라는 메시지가 나타
납니다. 헤드 1번의 노즐 홀더에 CNT20노즐을 수동으로 장착한 후, <Next> 버
튼을 클릭하십시오.
5. “Z Axis moving down…. Please Wait for a Moment.”라 는 메시지가 나타나고,
Head1에 대한 캘리브레이션을 건너뛰고 진행할 것인지를 묻는 대화상자가 나
타납니다. 건너뛰려면 “예(Y)”를 클릭하고, Calibration을 진행하
려면 “아니요
(N)”를 클릭한 다음, <Next> 버튼을 클릭하십시오.
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6. “Move To Center Position of Calibration Tool. To Move, Click [Next].” 나타납니다
. Head Assembly를 ANC상의 Calibrration Tool 위치로 이동시키기 위해서 <Next>
버튼을 클릭하십시오.
7. “Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].” 라는 메시지가 나타납니다.
이 때, <Target Camera> 콤보박스에서 “Fly1 Cam”을 선택하고, <Light…> 버튼
을 클릭하고 “Light Control”대화상자에서 SMVision 창에서 보여지는
Calibration Tool상의 Ficucial Mark가 선명하게 보이도록 조명의 밝기를 조정한
후 <Next> 버튼을 클릭하십시오.
8. 자동으로 Calibration을 수행한 후, Calibration이 완료되면, 다음 그림과 같이 결
과값을 보여
줍니다.