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- 13 - T echnical Memo 1) 主机接通电源后,请选择 “ 手动控制 ” 项目,检查下列各项目的动作状况。 ① 基板挡块部 ② 夹杆 Y ③ ATC 单元 ✎ 手动控制 ✎ 在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。 有关手动控制的详细内容,请参见 “ 第 8 章 手动控制 ” 。 2) 如若动作有问题,请参考下页 “ 管道系统图 ” 进行检查。 检查项目 8. 各单元气缸 实施频度 :每周 检查内…

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1) 请确认没有漏气
检查项目
7.管道及接头
实施频度 :每
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查漏气
<左侧深处>
指状阀
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1) 主机接通电源后,请选择手动控制项目,检查下列各项目的动作状况。
基板挡块部
夹杆 Y
ATC 单元
手动控制
在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容,请参见 8 手动控制
2) 如若动作有问题,请参考下页管道系统图进行检查。
检查项目
8. 各单元气缸
实施频度 :每周
检查内容 检查各气缸的动作
在功能栏上选择“手动控
制”后,启动手动控制。
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(1) 管道系统图(主机)
a-(正气压)
(L側)
工場エア
プラグ
PJ025200003
フィンガバルブ
PV015212000
エアコンビネーション
PF0552150A0
エルボユニオン
PJ304125301
エルボユニオン
PJ304125301
ユニオンY
PJ308120001
減圧弁
PF025301000
エルボユニオン
PJ304125301
エルボユニオン
PJ304125301
プラグ
PX950007000
プラグ
PX950007000
プラグ
PJ020000003
マニホールド
PJ309120002
Lstation、
Front
Lstation、Rear
HEAD
Rstation、
Front
Rstation、Rear
HEAD
レデューサ
PJ304060001
マニホールド
PJ309120003
レデューサ
PJ304060001
レデューサ
PJ304060001
レデューサ
PJ304060001
レデューサ
PJ301060003
レデューサ
PJ301060003
レデューサ
PJ301060003
レデューサ
PJ301060003
レデューサ
PJ301060003
Lstation
CONVEYOR
Lstation、
Front
Lstation、Rear
ATC
ハーフユニオン
PJ210006100
圧力計組
40002333
Lstation、Front
ドライブシリンダ
Lstation、Rear
ドライブシリンダ
Lstation、Front
オプション用※
Lstation、Rear
オプション用※
Lstation、Front
バンクアップシリンダ;オプション
Lstation、Front
CVS;オプション
Lstation、Rear
CVS;オプション
2500mm
300mm
③2000mm
②1800mm
5100mm
③1500mm
5000mm
③1700mm
③500mm
①1000mm
(R側へ)
Lstation、Rear
バンクアップシリンダ;オプション
ユニオンY
PJ308120001
ユニオンY
PJ308120001
③400mm
5300mm
③2000mm
5100mm
170mm
120mm
①700mm
4200mm
4200mm
4200mm
4000mm
ユニオンストレート
PJ303080001
ユニオンストレート
PJ303080001
ユニオンストレート
PJ303080001
ユニオンストレート
PJ303080001
2600mm
2600mm
3800mm
5000mm
③2500mm
5100mm
エアチューブについ
①⇒BT1200801EF (φ12白)
②⇒BT0800501EA (φ8青)
③⇒BT0600400EC (φ6青)
③900mm
L 侧)
工厂气压
弯形接头
转换接头
压力计组
驱动气缸
选购项
选购项用
插头
气源处理联件
歧管
Y 形三通接头
指状阀
减压阀
直通接头
节流器
(通向右侧)
台架上升气缸:选购项
关于空气管
直通接头
直通接头
直通接头
弯形接头
弯形接头
弯形接头
驱动气缸
Y 形三通接头
Y 形三通接头
歧管
节流器
节流器
节流器
节流器
节流器
节流器
节流器
节流器
台架上升气缸:选购项
选购项
选购项用
选购项
插头
插头
插头