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- 29 - T echnical Memo 1) 请检查 O CC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。 有灰尘或异物时，请用气枪去除。 清扫部位 19 ． OCC （偏光滤光片） 实施频度： 每周 清扫内容 清扫 OCC （偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪 偏光滤光片

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1)统一更换台车要定期清扫。此外，在安装带式供料器等供料器类前，若发现有芯片元件等异物时，
也要用吸尘器等进行清扫。
2)请确认｢台架定位销｣（两侧）附近没有芯片元件等异物。
＜机械式供料器用＞
＜电动式供料器用＞
清扫部位
18．统一更换台车
实施频度：每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具： 吸尘器
台架定位销
台架定位销
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1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
19．OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光滤光片
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1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
20．CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
②
①