点检表.pdf - 第31页
- 30 - T echnical Memo 1) 检查 C AL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。 若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。 如果去不掉脏污，请沾少量酒精（ IPA ）进行清扫。 清扫部位 20 ． CAL 块 实施频度 ：每周 清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA ② ①
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Technical Memo
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
19．OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光滤光片
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Technical Memo
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
20．CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
②
①
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Technical Memo
＜清扫方法＞
1) 如果传感器窗上附着有大量的垃圾或灰尘，请使用吹风机等吹掉。
请避免通过呼气吹掉脏污。
2) 少量的垃圾和灰尘请使用柔软的布 （眼镜布等） 沾上少量酒精，仔细擦去。
请勿用力擦拭。如果损伤滤镜，会造成误差产生。
清扫部位
21．HMS
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫激光窗口 使用工具：棉纱 推荐溶剂 ：IPA