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- 4 - T echnical Memo 1 ） 在压力表上确认压力为 – 90 ～ - 95kPa 。 2 ） 压力较低时，需要更换消耗零件。 请按照下面的 “ 检查、更换真空泵零件 ” 进行消耗零件的检查、更换。 压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。 ＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号： 40068178 检查位置 使用数量 检查内容 检查方法 真 空 泵 内 部 吸气阀防干扰橡胶 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检 吸、…

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1) 请检查红色标示（堵塞标记）是否上升。
2) 如有堵塞现象，请更换过滤器零件。
1) 拆下①、②的 4 根螺丝。
2) 卸下③的 4 根螺丝。 3) 更换新的过滤器零件、O 环、垫圈。
4) 按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
检查项目
2．主线过滤器（选购项）
实施频度 ： 每天
检查内容
检查过滤器脏污
检查･更换
更换过滤器零件
更换标准：
２年
货号：PF901007000
O 环、垫圈
过滤器组件
②
①
③
O 环
垫圈
过滤器零件
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1） 在压力表上确认压力为 –90 ～ -95kPa。
2） 压力较低时，需要更换消耗零件。
请按照下面的“检查、更换真空泵零件”进行消耗零件的检查、更换。
压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。
＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号：40068178
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
真
空
泵
内
部
吸气阀防干扰橡胶 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
吸、排气阀 12 有无变形、硬化、欠缺 目检
排气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
皮碗垫圈
CUP PACKING
4
有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
垫圈 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
外
部
尼龙管 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
消声器 1 有无变形、硬化、龟裂等 目检
检查项目
3. 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容
确认真空压力
检查･更换 检查、更换真空泵零件
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换标准：1 年
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○
准备更换
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请打开左站点后侧电装部盖子。
(Rev J 以前的机器，在后侧中央开关盖内部)
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从主机里拉出真空泵。
（拉出时请注意连接线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线③。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请拆下把手和面板。
请将泵纵向放置，使要更换的贴片头向上。
①
②
③