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Fig.5A 11 -3 Fig.5A 11 -3 Fig.5A 11 -3 Fig.5A 11 -3 Fig.5A 11 -3 鼓风机 鼓风机 鼓风机 鼓风机 鼓风机 0008-00 1 3 章1 - 1 2-2 AFU0 1 EINP 5. 5. 5. 5. 5. 每周保养·维修 每周保养·维修 每周保养·维修 每周保养·维修 每周保养·维修 真空滤网 清扫 拆下真空滤网，用吹气和吸尘 器清除灰尘。 污染严重时，要交换新滤网。 详细…
Fig.5A11- 1 LFig.5A11- 1 L
Fig.5A11- 1 LFig.5A11- 1 L
Fig.5A11- 1 L
传送带部传送带部
传送带部传送带部
传送带部
Fig.5A11-2 RFig.5A11-2 R
Fig.5A11-2 RFig.5A11-2 R
Fig.5A11-2 R
传送带部传送带部
传送带部传送带部
传送带部
0008-001 3章1-12-1 AFU01EINP
5.5.
5.5.
5.
每周保养·维修每周保养·维修
每周保养·维修每周保养·维修
每周保养·维修
Interlock传感器
清扫
吸尘器清除灰尘。
Interlock传感器
清扫
吸尘器清除灰尘。
Fig.5A11-3 Fig.5A11-3
Fig.5A11-3 Fig.5A11-3
Fig.5A11-3
鼓风机鼓风机
鼓风机鼓风机
鼓风机
0008-001 3章1 -12-2 AFU01EINP
5.5.
5.5.
5.
每周保养·维修每周保养·维修
每周保养·维修每周保养·维修
每周保养·维修
真空滤网
清扫
拆下真空滤网，用吹气和吸尘
器清除灰尘。
污染严重时，要交换新滤网。
详细内容请参照 “9.2 鼓风滤网
的交换顺序” 章节。
6. 6.
6. 6.
6.
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修
DE1: DAPHNE EPONEX GREASE No.1
NM1: NEW MOLYNOC GREASE No.1
Table 5A6Table 5A6
Table 5A6Table 5A6
Table 5A6
保养保养
保养保养
保养
··
··
·
维修单位维修单位
维修单位维修单位
维修单位
名名
名名
名
称称
称称
称
台部 X轴 Linear Guide 5A12 清扫 DE1油布
Z轴 Guide Bushing 5A12 清扫 DE1油布
θ轴 Linear Guide 5A13 清扫 DE1油布
基板Chuck部 Chute宽幅变更用 5A14 清扫 - 布
Linear Guide
Backup台 5A14 清扫 - 油布
Z轴 Guide
Bushing
基板Clamp用 5A14 清扫 - 油布
Linear Guide
-1
基板识别部 X轴 Linear Guide 5A15 清扫 - 油布
Y轴 Linear Guide 5A16 清扫 DE1油布
Squeegee Y轴 Linear Guide 5A17 清扫 DE1
安装头部 X轴 Linear Guide 5A18 清扫 DE1油布
Squeegee上下用 5A19 清扫 DE1油布
Guide Bushing
Screen Holder Screen Y轴 5A20 清扫 DE1油布
Linear Guide
L 传送带 传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布
Spline轴
传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布
Ball Screw
传送带宽幅变更用 5A21清扫 DE1油布
Guide Bushing
R 传送带 传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布
Spline轴
传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布
Ball Screw
传送带宽幅变更用 5A22 清扫 DE1油布
Guide Bushing
6.6.
6.6.
6.
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修
0008-003 3章1-13 AFU01EINP
保养保养
保养保养
保养
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··
·
维修内容维修内容
维修内容维修内容
维修内容
润滑油润滑油
润滑油润滑油
润滑油
清扫用具、清扫用具、
清扫用具、清扫用具、
清扫用具、
吸嘴等吸嘴等
吸嘴等吸嘴等
吸嘴等
图号图号
图号图号
图号
核对核对
核对核对
核对