2OM-1150-001_w.pdf - 第186页
Fig.5A 1 4 Fig.5A 1 4 Fig.5A 1 4 Fig.5A 1 4 Fig.5A 1 4 基板 基板 基板 基板 基板 Chuck Chuck Chuck Chuck Chuck 部 部 部 部 部 Fig.5A 1 4- 1 Chuck Fig.5A 1 4- 1 Chuck Fig.5A 1 4- 1 Chuck Fig.5A 1 4- 1 Chuck Fig.5A 1 4- 1 Chuck 部 部 部 部 部 …
Fig.5A12 Fig.5A12
Fig.5A12 Fig.5A12
Fig.5A12
台部台部
台部台部
台部
Fig.5A13 Fig.5A13
Fig.5A13 Fig.5A13
Fig.5A13
台部台部
台部台部
台部
6.6.
6.6.
6.
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修
0008-003 3章1-14 AFU01EINP
X轴 Linear Guide
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
Z轴 Guide Bushing
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
θ轴 Linear Guide
清扫
Fig.5A14 Fig.5A14
Fig.5A14 Fig.5A14
Fig.5A14
基板基板
基板基板
基板
ChuckChuck
ChuckChuck
Chuck
部部
部部
部
Fig.5A14-1 Chuck Fig.5A14-1 Chuck
Fig.5A14-1 Chuck Fig.5A14-1 Chuck
Fig.5A14-1 Chuck
部部
部部
部
6.6.
6.6.
6.
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修
0008-003 3章1-15 AFU01EINP
Backup台Z轴
Guide Bushing
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
Chute宽幅变更用
Linear Guide
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
基板Clamp用Linear Guide
清扫
Fig.5A15 Fig.5A15
Fig.5A15 Fig.5A15
Fig.5A15
基板识别部基板识别部
基板识别部基板识别部
基板识别部
Fig.5A16 Fig.5A16
Fig.5A16 Fig.5A16
Fig.5A16
基板识别部基板识别部
基板识别部基板识别部
基板识别部
Fig.5A17 SqueegeeFig.5A17 Squeegee
Fig.5A17 SqueegeeFig.5A17 Squeegee
Fig.5A17 Squeegee
安装头部安装头部
安装头部安装头部
安装头部
0008-003 3章1-16 AFU01EINP
6.6.
6.6.
6.
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修每月保养·维修
每月保养·维修
X轴Linear Guide
Y轴Linear Guide
Y轴Linear Guide
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
清扫
清扫
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。
油布清扫。
注注
注注
注
: :
: :
: 注意不要残留线头。