2OM-1150-001_w.pdf - 第197页

Fig.5A27 Chuck Fig.5A27 Chuck Fig.5A27 Chuck Fig.5A27 Chuck Fig.5A27 Chuck 部 部 部 部 部 Fig.5A28 Fig.5A28 Fig.5A28 Fig.5A28 Fig.5A28 基板识别部 基板识别部 基板识别部 基板识别部 基板识别部 8. 8. 8. 8. 8. 每 每 每 每 每 6 6 6 6 6 个月一次保养·维修 个月一次保养·维修 个月一次保…