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Fig.5A29 Fig.5A29 Fig.5A29 Fig.5A29 Fig.5A29 基板识别部 基板识别部 基板识别部 基板识别部 基板识别部 8. 8. 8. 8. 8. 每 每 每 每 每 6 6 6 6 6 个月一次保养·维修 个月一次保养·维修 个月一次保养·维修 个月一次保养·维修 个月一次保养·维修 0008-003 3 章1 -25 AFQ0 1 JINP X 轴 Ball Screw 注油 用油刷或 Hera 上油…
Fig.5A27 ChuckFig.5A27 Chuck
Fig.5A27 ChuckFig.5A27 Chuck
Fig.5A27 Chuck
部部
部部
部
Fig.5A28 Fig.5A28
Fig.5A28 Fig.5A28
Fig.5A28
基板识别部基板识别部
基板识别部基板识别部
基板识别部
8.8.
8.8.
8.
每每
每每
每
66
66
6
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修
0008-003 3章1-24 AFQ01JINP
基板Clamp用Linear Guide
注油
用油刷或Hera上油。
基板Stopper Guide Bushing
注油
用油刷上油。
注注
注注
注
: :
: :
: 大量上油会导致基板或屏
幕上润滑油飞散，注意用
油刷或Hera在Ball Screw
表面上一层薄油。
X轴Linear Guide
注油
用油刷或Hera上油。
Fig.5A29 Fig.5A29
Fig.5A29 Fig.5A29
Fig.5A29
基板识别部基板识别部
基板识别部基板识别部
基板识别部
8.8.
8.8.
8.
每每
每每
每
66
66
6
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修
0008-003 3章1-25 AFQ01JINP
X轴Ball Screw
注油
用油刷或Hera上油。
注注
注注
注
: :
: :
: 大量上油会导致基板或屏
幕上润滑油飞散，注意用
油刷或Hera在Ball Screw
表面上一层薄油。
Y轴Ball Screw
注油
用油刷或Hera上油。
注注
注注
注
: :
: :
: 大量上油会导致基板或屏
幕上润滑油飞散，注意用
油刷或Hera在Ball Screw
表面上一层薄油。
Y轴Linear Guide
注油
用油刷上油。
注注
注注
注
::
::
: 大量上油会导致基板上无法
附着。
Fig.5A30 SqueegeeFig.5A30 Squeegee
Fig.5A30 SqueegeeFig.5A30 Squeegee
Fig.5A30 Squeegee
安装头部安装头部
安装头部安装头部
安装头部
Fig.5A31 SqueegeeFig.5A31 Squeegee
Fig.5A31 SqueegeeFig.5A31 Squeegee
Fig.5A31 Squeegee
安装头部安装头部
安装头部安装头部
安装头部
8.8.
8.8.
8.
每每
每每
每
66
66
6
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修个月一次保养·维修
个月一次保养·维修
0008-003 3章1-26 AFQ01JINP
Squeegee安装头Y轴
Linear Guide
注油
用油枪在油喷嘴处注油。
Squeegee安装头Y轴
Ball Screw
注油
用油刷或Hera上油。
注注
注注
注
: :
: :
: 大量上油会导致基板或屏
幕上润滑油飞散，注意用
油刷或Hera在Ball Screw
表面上一层薄油。
Squeegee上下用Guide Bushing
注油
用油刷或Hera上油。