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(4) 拆下滤网，用气枪、电子吸尘器清除滤网上的灰尘。 Fig.5A37-4 Fig.5A37-4 Fig.5A37-4 Fig.5A37-4 Fig.5A37-4 (5) 安置滤网，要使滤网的中心孔对准滤网盖中的 Flange 。 Fig.5A37-5 Fig.5A37-5 Fig.5A37-5 Fig.5A37-5 Fig.5A37-5 (6) 将滤网帽的中心 Flange 对准滤网的中心孔，按紧滤网帽后， 固定夹钳。 Fig.5A…
9.29.2
9.29.2
9.2
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换
作业顺序作业顺序
作业顺序作业顺序
作业顺序
(1) 拆下后下盖。
(螺丝4个)
Fig.5A37-1Fig.5A37-1
Fig.5A37-1Fig.5A37-1
Fig.5A37-1
(2) 拆下固定住滤网盖的夹钳。
(4处)
Fig.5A37-2Fig.5A37-2
Fig.5A37-2Fig.5A37-2
Fig.5A37-2
(3) 拆下滤网帽。
Fig.5A37-3Fig.5A37-3
Fig.5A37-3Fig.5A37-3
Fig.5A37-3
9.2 9.2
9.2 9.2
9.2
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换
0008-001 3章1-30-1 AFQ01JINP
盖
夹钳
(4) 拆下滤网，用气枪、电子吸尘器清除滤网上的灰尘。
Fig.5A37-4Fig.5A37-4
Fig.5A37-4Fig.5A37-4
Fig.5A37-4
(5) 安置滤网，要使滤网的中心孔对准滤网盖中的Flange。
Fig.5A37-5Fig.5A37-5
Fig.5A37-5Fig.5A37-5
Fig.5A37-5
(6) 将滤网帽的中心Flange对准滤网的中心孔，按紧滤网帽后，
固定夹钳。
Fig.5A37-6Fig.5A37-6
Fig.5A37-6Fig.5A37-6
Fig.5A37-6
9.2 9.2
9.2 9.2
9.2
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换
0008-001 3章1-30-2 AFQ01JINP
Flange部
Flange部
10.10.
10.10.
10.
基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
基板较薄时，竖直Holder力一大，会令基板翻身，所以需要在适当的
减压弁下做调整。
减压弁位于L 传送带的左前侧( 作业者侧) 。
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38
• 作用在基板厚度上的气压如下表基准。
[基板尺寸为150 × 100 × 1.5(t)时，无基板Stopper。]
基板厚度基板厚度
基板厚度基板厚度
基板厚度
气压气压
气压气压
气压
0.50.5
0.50.5
0.5
1.01.0
1.01.0
1.0
1.51.5
1.51.5
1.5
2.02.0
2.02.0
2.0
(mm) (mm)
(mm) (mm)
(mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)
0008-003 3章1-31
AFQ01JINP
10.10.
10.10.
10.
基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
减压弁