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10. 10. 10. 10. 10. 基板竖直 基板竖直 基板竖直 基板竖直 基板竖直 Clamp Clamp Clamp Clamp Clamp 调整 调整 调整 调整 调整 基板较薄时，竖直 Holder 力一大，会令基板翻身，所以需要在适当的 减压弁下做调整。 减压弁位于 L 传送带的左前侧 ( 作业者侧 ) 。 Fig.5A38 Fig.5A38 Fig.5A38 Fig.5A38 Fig.5A38 • 作用在基板厚度上的气压…
(4) 拆下滤网，用气枪、电子吸尘器清除滤网上的灰尘。
Fig.5A37-4Fig.5A37-4
Fig.5A37-4Fig.5A37-4
Fig.5A37-4
(5) 安置滤网，要使滤网的中心孔对准滤网盖中的Flange。
Fig.5A37-5Fig.5A37-5
Fig.5A37-5Fig.5A37-5
Fig.5A37-5
(6) 将滤网帽的中心Flange对准滤网的中心孔，按紧滤网帽后，
固定夹钳。
Fig.5A37-6Fig.5A37-6
Fig.5A37-6Fig.5A37-6
Fig.5A37-6
9.2 9.2
9.2 9.2
9.2
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换鼓风滤网的交换
鼓风滤网的交换
0008-001 3章1-30-2 AFQ01JINP
Flange部
Flange部
10.10.
10.10.
10.
基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
基板较薄时，竖直Holder力一大，会令基板翻身，所以需要在适当的
减压弁下做调整。
减压弁位于L 传送带的左前侧( 作业者侧) 。
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38
• 作用在基板厚度上的气压如下表基准。
[基板尺寸为150 × 100 × 1.5(t)时，无基板Stopper。]
基板厚度基板厚度
基板厚度基板厚度
基板厚度
气压气压
气压气压
气压
0.50.5
0.50.5
0.5
1.01.0
1.01.0
1.0
1.51.5
1.51.5
1.5
2.02.0
2.02.0
2.0
(mm) (mm)
(mm) (mm)
(mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)
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AFQ01JINP
10.10.
10.10.
10.
基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
减压弁
11. 11.
11. 11.
11.
真空源真空源
真空源真空源
真空源
• 真空吸附方式的基板固定单位或自动Cleaning(吸引式) 用的
Blower方式的真空发生源。
(1) 真空吸附力的调整
• 用吸附力调整阀门调整真空吸附力。
顺时针方向转动吸附力调整按钮，吸引力减弱；逆时针方向转动,
则吸引力增强。
Fig.5A39Fig.5A39
Fig.5A39Fig.5A39
Fig.5A39
• 吸附力调整阀门，在出厂时，被调整在全闭( 右旋转Max.)到
8 旋转打开( 左旋转) 状态。
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AFQ01JINP
11.11.
11.11.
11.
真空源真空源
真空源真空源
真空源
Blower Unit
Muffler
吸附力调整阀门