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11. 11. 11. 11. 11. 真空源 真空源 真空源 真空源 真空源 • 真空吸附方式的基板固定单位或自动 Cleaning( 吸引式 ) 用的 Blower 方式的真空发生源。 (1) 真空吸附力的调整 • 用吸附力调整阀门调整真空吸附力。 顺时针方向转动吸附力调整按钮，吸引力减弱；逆时针方向转动 , 则吸引力增强。 Fig.5A39 Fig.5A39 Fig.5A39 Fig.5A39 Fig.5A39 • 吸附力调整阀门…
10.10.
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基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
基板较薄时，竖直Holder力一大，会令基板翻身，所以需要在适当的
减压弁下做调整。
减压弁位于L 传送带的左前侧( 作业者侧) 。
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38Fig.5A38
Fig.5A38
• 作用在基板厚度上的气压如下表基准。
[基板尺寸为150 × 100 × 1.5(t)时，无基板Stopper。]
基板厚度基板厚度
基板厚度基板厚度
基板厚度
气压气压
气压气压
气压
0.50.5
0.50.5
0.5
1.01.0
1.01.0
1.0
1.51.5
1.51.5
1.5
2.02.0
2.02.0
2.0
(mm) (mm)
(mm) (mm)
(mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)
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10.
基板竖直基板竖直
基板竖直基板竖直
基板竖直
ClampClamp
ClampClamp
Clamp
调整调整
调整调整
调整
减压弁
11. 11.
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11.
真空源真空源
真空源真空源
真空源
• 真空吸附方式的基板固定单位或自动Cleaning(吸引式) 用的
Blower方式的真空发生源。
(1) 真空吸附力的调整
• 用吸附力调整阀门调整真空吸附力。
顺时针方向转动吸附力调整按钮，吸引力减弱；逆时针方向转动,
则吸引力增强。
Fig.5A39Fig.5A39
Fig.5A39Fig.5A39
Fig.5A39
• 吸附力调整阀门，在出厂时，被调整在全闭( 右旋转Max.)到
8 旋转打开( 左旋转) 状态。
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11.
真空源真空源
真空源真空源
真空源
Blower Unit
Muffler
吸附力调整阀门
12. Cleaning Paper12. Cleaning Paper
12. Cleaning Paper12. Cleaning Paper
12. Cleaning Paper
交换方法交换方法
交换方法交换方法
交换方法
(Cleaning Paper(Cleaning Paper
(Cleaning Paper(Cleaning Paper
(Cleaning Paper
宽幅宽幅
宽幅宽幅
宽幅
变更方法变更方法
变更方法变更方法
变更方法
))
))
)
按下 “AUTO OPN.(生产运作)”子菜单栏的[PRODUCT CHANGE(Set-Up
变更)] 按钮，显示如下界面。
操作顺序操作顺序
操作顺序操作顺序
操作顺序
(1) 按下[Cleang Chg.(Cleaning交换)]Tab键。
(2) 按下[Squeegee Chg.Pos.Move(交换位置移动)]按钮。
选中后，背景色呈青色。
Fig.5A40Fig.5A40
Fig.5A40Fig.5A40
Fig.5A40
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12.Cleaning12.Cleaning
12.Cleaning12.Cleaning
12.Cleaning
PaperPaper
PaperPaper
Paper
交换方法交换方法
交换方法交换方法
交换方法
(Cleaning(Cleaning
(Cleaning(Cleaning
(Cleaning
PaperPaper
PaperPaper
Paper
宽幅变更方法宽幅变更方法
宽幅变更方法宽幅变更方法
宽幅变更方法
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))
)