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Fig.F3C4 Fig.F3C4 Fig.F3C4 Fig.F3C4 Fig.F3C4 0304-003 3 章 3-47 AFQ0 1 JMTP 3.2 3.2 3.2 3.2 3.2 台部传感器配置图台部传感器配置图台部传感器配置图台部传感器配置图台部传感器配置图 MPM023 BPH 1 92 BPH 1 9 1 BPH 1 93 B05F MPM025 BPH05 1 MPM02 1 BPH2 1 2 BPH2 11 …

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

Fig.F3C3Fig.F3C3

Fig.F3C3

0304-003 3章3-46

AFQ01JMTP

BPH232

BPH233

BPH050 SVS052

BPH231

MPM025

MPM023

MPM019

BPH173

BPH055

BPH057

BPH056

ASM023 ASM017 BPH172 BPH171

Fig.F3C4Fig.F3C4

Fig.F3C4

0304-003 3章3-47

AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

MPM023

BPH192

BPH191

BPH193

B05F

MPM025

BPH051

MPM021

BPH212

BPH211

BPH213

Fig.F3C5Fig.F3C5

Fig.F3C5

Table 3C3Table 3C3

Table 3C3

记号记号

记号

名称名称

名称

BPH050 P.C.B. Horizontal Clamping Forward Limit

BPH051 Width Error Detection (Light Emitting Side)

B05F Width Error Detection (Light Receiving Side)

SVS052 Vacuum Switch

BPH055 Table Z-Axis Interlock

BPH056 Table X-Axis Interlock (+)

BPH057 Table X-Axis Interlock (-)

BPH171 Table Z-Axis Origin

BPH172 Table Z-Axis Limit (+)

BPH173 Table Z-Axis Limit (-)

BPH191 Table X-Axis Origin

BPH192 Table X-Axis Limit (+)

BPH193 Table X-Axis Limit (-)

BPH211 Table

θ-Axis Origin

BPH212 Table

θ-Axis Limit (+)

BPH213 Table

θ-Axis Limit (-)

BPH231 P.C.B. U/D Axis Origin

BPH232 P.C.B. U/D Axis Limit (+)

BPH233 P.C.B. U/D Axis Limit (-)

BPH251 Rail Axis Limit (+)

ASMD017 Table Z-Axis Servomotor

MPM019 Table X-Axis Pulse Motor

MPM021 Table

θ-Axis Pulse Motor

0304-003 3章3-48

AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

YSV058

YSV059