2OM-1150-001_w.pdf - 第273页

Fig.F3C5 Fig.F3C5 Fig.F3C5 Fig.F3C5 Fig.F3C5 Table 3C3 Table 3C3 Table 3C3 Table 3C3 Table 3C3 记号记号记号记号记号名称名称名称名称名称 BPH050 P.C.B. Horizontal Clamping Forward Limit BPH05 1 Width Error Detection (Light Emitting S…

Fig.F3C4Fig.F3C4

Fig.F3C4

0304-003 3章3-47

AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

MPM023

BPH192

BPH191

BPH193

B05F

MPM025

BPH051

MPM021

BPH212

BPH211

BPH213

Fig.F3C5Fig.F3C5

Fig.F3C5

Table 3C3Table 3C3

Table 3C3

记号记号

记号

名称名称

名称

BPH050 P.C.B. Horizontal Clamping Forward Limit

BPH051 Width Error Detection (Light Emitting Side)

B05F Width Error Detection (Light Receiving Side)

SVS052 Vacuum Switch

BPH055 Table Z-Axis Interlock

BPH056 Table X-Axis Interlock (+)

BPH057 Table X-Axis Interlock (-)

BPH171 Table Z-Axis Origin

BPH172 Table Z-Axis Limit (+)

BPH173 Table Z-Axis Limit (-)

BPH191 Table X-Axis Origin

BPH192 Table X-Axis Limit (+)

BPH193 Table X-Axis Limit (-)

BPH211 Table

θ-Axis Origin

BPH212 Table

θ-Axis Limit (+)

BPH213 Table

θ-Axis Limit (-)

BPH231 P.C.B. U/D Axis Origin

BPH232 P.C.B. U/D Axis Limit (+)

BPH233 P.C.B. U/D Axis Limit (-)

BPH251 Rail Axis Limit (+)

ASMD017 Table Z-Axis Servomotor

MPM019 Table X-Axis Pulse Motor

MPM021 Table

θ-Axis Pulse Motor

0304-003 3章3-48

AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

YSV058

YSV059

Table 3C4Table 3C4

Table 3C4

记号记号

记号

名称名称

名称

MPM023 P.C.B. U/D Pulse Motor

MPM025 Pulse Motor for Rail Width Adjustment

SVS052 Pressure Switch

YSV058 P.C.B. Horizontal Clamping Solenoid Valve(Outward)

YSV059 P.C.B. Horizontal Clamping Solenoid Valve(Backward)

0004-002 3章3-49 AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图