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0304-003 3 章 3-50 AFQ0 1 JMTP 3.3 3.3 3.3 3.3 3.3 基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图 3.3 3.3 3.3 3.3 3.3 基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图 Fig.F3C6 Fig.F3C6 Fig.F3C6 Fig.F3C6 Fig.…

Table 3C4Table 3C4

Table 3C4

记号记号

记号

名称名称

名称

MPM023 P.C.B. U/D Pulse Motor

MPM025 Pulse Motor for Rail Width Adjustment

SVS052 Pressure Switch

YSV058 P.C.B. Horizontal Clamping Solenoid Valve(Outward)

YSV059 P.C.B. Horizontal Clamping Solenoid Valve(Backward)

0004-002 3章3-49 AFQ01JMTP

3.2 3.2

3.2

台部传感器配置图台部传感器配置图

台部传感器配置图

0304-003 3章3-50 AFQ01JMTP

3.3 3.3

3.3

基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图

基板识别传感器配置图

3.3 3.3

3.3

基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图

基板识别传感器配置图

Fig.F3C6Fig.F3C6

Fig.F3C6

BPH353

YSV079

YSV078

BPH354

MPM035

BPH351

BPH070

BPH071

BPS072

0304- 003 3章3-51 AFQ01JMTP

Fig.F3C7Fig.F3C7

Fig.F3C7

Table 3C4Table 3C4

Table 3C4

记号记号

记号

名称名称

名称

BPH046 P.C.B. Recognition Y-Axis Interlock

BPS070 P.C.B. Stopper Upper Limit

BPH071 P.C.B. Check

BPH072 (Overlapped P.C.B. Detection)

BPH331 P.E.C. Recognition Y-Axis Origin

BPH334 P.E.C. Recognition Y-Axis Rotational Origin

BPH351 P.E.C. Recognition X-Axis Origin

BPH353 P.E.C. Recognition X-Axis Limit (-)

BPH354 P.E.C. Recognition X-Axis Rotational Origin

MPM035 P.E.C. Recognition X-Axis Pulse Motor

MPM033 P.E.C. Recognition Y-Axis Pulse Motor

YSV078 P.C.B. Warpage Top Holding Upper Limit Solenoid Valve

YSV079 P.C.B. Stopper Solenoid Valve

3.3 3.3

3.3

基板识别传感器配置图基板识别传感器配置图

基板识别传感器配置图

BPH046

BPH331

BPH334 BPH046