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28 MODEL TIM-5200F/R 0307-001 2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION Fig. C-6 ボールネジカバー Ball Screw Cover See Fig.B-1 Key No.2 See Fig.B-1 Key No.3 568 501 567 566 502 566 567 568

Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS

NOTE

MODEL TIM-5200F/R

0307-001

C-5

401 630 073 8957 PLATE 2 805C--010-401

402 630 073 8964 PLATE 2 805C--010-402

403 630 120 3188 PLATE 2 805C--010-403

406 630 122 2073 COVER 2 805C--010-406

407 630 122 2080 COVER 2 805C--010-407

409 630 085 0116 BRACKET 2 805C--010-409

411 630 005 2732 AIR LINE EQPT 2 805C--010-411

412 630 069 9876 SOLENOID VALVE 2 -YSV22(YA),(YB) 805C--010-412

417 630 009 2400 PIPE FITTINGS 4 805C--010-417

418 630 070 9919 PIPE FITTINGS 10 805C--010-418

419 630 051 9556 AIR LINE EQPT 2 805C--010-419

420 630 069 9456 PIPE FITTINGS 2 805C--010-420

421 630 071 0861 PLATE 2 805B--010-015

422 630 086 1433 COVER 2 805B--010-016

431 630 069 9616 ACCESSORY,P.C.B 14 805CB-010-361

432 630 120 2549 BRACKET 2 805CB-010-172

433 630 120 2556 BRACKET 2 805CB-010-173

451 630 053 1664 UNIT,DRIVER 4 -APMD01(ZA1),-APMD02(ZA2),

-APMD01(ZB1),-APMD01(ZB2),

#D2332B 805CB-010-251

452 630 120 0200 P.C.B,MOUNT 2 UB09*001*0000 805CB-01U-051

462 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 4 FW6

463 411 141 3001 WASHER SPR 6 4 SW6

464 630 000 7862 BOLT,HEX-SCT 4 M6X10

465 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 34 FW5

466 411 141 6705 WASHER SPR 5 34 SW5

467 630 000 7763 BOLT,HEX-SCT 2 M5X16

468 630 000 7756 BOLT,HEX-SCT 8 M5X12

469 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 24 M5X10

471 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 32 FW4

472 411 141 2905 WASHER SPR 4 32 SW4

473 630 000 7718 BOLT,HEX-SCT 8 M4X45

474 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 4 M4X12

475 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 20 M4X10

477 411 113 7501 SCR TRS 4X10 14 M4X10 TRS

478 630 000 7664 BOLT,HEX-SCT 4 M4X20

481 411 119 1909 WASHER V 3X7X0.5 14 FW3 F

482 411 086 4408 WASHER SPR 3 14 SW3 F

483 411 041 8908 SCR PAN 3X6 14 M3X6 PAN

484 411 119 2104 WASHER V 4X9X0.8 8 FW4 F

485 411 008 1706 WASHER SPR 4 8 SW4 F

486 411 043 5004 SCR PAN 4X8 8 M4X8 PAN

MODEL TIM-5200F/R

0307-001

2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION

Fig. C-6 ボールネジカバー Ball Screw Cover

See Fig.B-1

Key No.2

See Fig.B-1

Key No.3

568

501

567

566

502

566

567

568

Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS

NOTE

MODEL TIM-5200F/R

0307-001

C-6

501 630 120 3126 COVER(L) 1 805C--010-501

502 630 120 3133 COVER(R) 1 805C--010-502

503 630 122 1113 PLATE 2 805C--010-503

566 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 FW4

567 411 141 2905 WASHER SPR 4 10 SW4

568 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 10 M4X8