FX-3R_（操作手册.管理员）OperationManual2_Rev00_C - 第198页
操作手册 II 2-159 (3) 状态 图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态 2-5-4-1-2 自动调整基板宽度 �…
操作手册 II
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(1) 操作
图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1)传送动作
HMS
2)运行站点
*HMS 2
3)搬入后的 BOC 校准设置
4)基板基准、传送方向
(2) 显示传送动作
图 2-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作
操作手册 II
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(3) 状态
图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
图 2-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
(1) 移动基板幅度（调整基板宽度）
操作手册 II
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(2) 基板外形尺寸
(3) 余宽
(4) 动作状态
(5) 说明
(6) “基板传送”按钮
(7) “宽度回原点”按钮